[發(fā)明專利]一種立式退火爐

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810992607.0
• 申請(qǐng)日: 2018-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108842051A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張麗佳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張麗佳
• 主分類號(hào): C21D9/573
• 分類號(hào): C21D9/573;C23C2/06;C23C2/40
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種立式退火爐，包括殼體，所述殼體內(nèi)部一側(cè)固定設(shè)置有預(yù)加熱機(jī)構(gòu)，所述預(yù)加熱機(jī)構(gòu)包括高電阻合金、預(yù)熱通道、環(huán)形管，所述殼體內(nèi)部一側(cè)固定設(shè)置有高電阻合金，所述高電阻合金內(nèi)部固定設(shè)置有預(yù)熱通道，所述預(yù)熱通道靠近高電阻合金一側(cè)固定連接有環(huán)形管，所述高電阻合金遠(yuǎn)離殼體一側(cè)固定設(shè)置有第一還原加熱管，所述第一還原加熱管兩側(cè)固定設(shè)置有保護(hù)氣體箱，所述保護(hù)氣體箱遠(yuǎn)離第一還原加熱管一側(cè)分別固定設(shè)置有第二還原加熱管和第三還原加熱管，所述第二還原加熱管和第三還原加熱管中部分別固定設(shè)置有輻射管。該立式退火爐可以有效實(shí)現(xiàn)快速退火工藝，防止出現(xiàn)結(jié)瘤、彎曲變形等缺陷，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用效果好等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及退火爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種立式退火爐。

背景技術(shù)

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門(mén)為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)。臺(tái)車式退火爐是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電30%。獨(dú)家生產(chǎn)采用復(fù)合式高鋁瓷釘組，臺(tái)車防撞擊密封磚，自動(dòng)密封臺(tái)車和爐門(mén)，一體化連軌，不需基礎(chǔ)安裝，放在水平地面即可使用。主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼等淬火、退火、時(shí)效以及各種機(jī)械零件熱處理之用。

但是目前使用的臺(tái)式退火爐具有一下缺點(diǎn)：

1、退火工藝大多選用輻射管間接加熱，由于其傳熱效率比NOF爐低，需要相應(yīng)的增加爐長(zhǎng)，如果選用臺(tái)式退火爐，需要增加較大的占地面積，同時(shí)給穿帶、糾偏帶來(lái)困難；

2、臺(tái)式退火爐采用的爐底輥容易造成帶鋼的劃傷、壓痕、浪形，這樣就限制了臺(tái)式退火爐進(jìn)行優(yōu)質(zhì)、高產(chǎn)、低耗的處理帶鋼進(jìn)行退火工藝。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種立式退火爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種立式退火爐，包括殼體，所述殼體內(nèi)部一側(cè)固定設(shè)置有預(yù)加熱機(jī)構(gòu)，所述預(yù)加熱機(jī)構(gòu)包括高電阻合金、預(yù)熱通道、環(huán)形管，所述殼體內(nèi)部一側(cè)固定設(shè)置有高電阻合金，所述高電阻合金內(nèi)部固定設(shè)置有預(yù)熱通道，所述預(yù)熱通道靠近高電阻合金一側(cè)固定連接有環(huán)形管，所述高電阻合金遠(yuǎn)離殼體一側(cè)固定設(shè)置有第一還原加熱管，所述第一還原加熱管兩側(cè)固定設(shè)置有保護(hù)氣體箱，所述保護(hù)氣體箱遠(yuǎn)離第一還原加熱管一側(cè)分別固定設(shè)置有第二還原加熱管和第三還原加熱管，所述第二還原加熱管和第三還原加熱管中部分別固定設(shè)置有輻射管，所述第三還原加熱管遠(yuǎn)離第一還原加熱管一側(cè)固定設(shè)置有冷卻管，所述殼體靠近散熱架一側(cè)固定設(shè)置有支架，所述支架上端固定設(shè)置有若干氣體冷卻機(jī)構(gòu)，所述氣體冷卻機(jī)構(gòu)包括風(fēng)機(jī)、閘閥、風(fēng)量控制閥、氣管、散熱口，所述支架遠(yuǎn)離冷卻管一側(cè)通過(guò)安裝座固定設(shè)置有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)輸出端固定連接有閘閥，所述閘閥遠(yuǎn)離風(fēng)機(jī)一側(cè)固定設(shè)置有氣管，所述氣管遠(yuǎn)離閘閥一側(cè)活動(dòng)安裝有風(fēng)量控制閥，所述風(fēng)量控制閥遠(yuǎn)離風(fēng)機(jī)一側(cè)固定開(kāi)設(shè)有散熱口，所述冷卻管遠(yuǎn)離冷卻機(jī)構(gòu)一側(cè)固定設(shè)置有電加熱體，所述電加熱體底端固定設(shè)置有鋅鍋，所述鋅鍋靠近殼體一側(cè)固定設(shè)置有鍍后冷卻塔。

優(yōu)選的，所述預(yù)熱通道與環(huán)形管固定連接，便于退火元件進(jìn)行順利預(yù)熱處理。

優(yōu)選的，所述環(huán)形管與第一還原加熱管固定連接，保證后續(xù)工藝穩(wěn)定進(jìn)行。

優(yōu)選的，所述第一還原加熱管與第二還原加熱管固定連接，所述第二還原加熱管與第三還原加熱管固定連接，確保退火元件的還原工藝順利完成。

優(yōu)選的，所述鋅鍋外側(cè)固定設(shè)置有高電阻合金，可以對(duì)鋅鍋進(jìn)行高溫加熱，并通過(guò)電流大小進(jìn)行加熱溫度的精確控制。