[發(fā)明專利]一種基于雙向擴(kuò)晶法的微器件巨量轉(zhuǎn)移裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810991566.3
• 申請(qǐng)日: 2018-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109285802B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹周平;陳建魁;金一威
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華中科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L27/15
• 代理公司: 華中科技大學(xué)專利中心 42201
• 代理人: 張彩錦;曹葆青

1.一種基于雙向擴(kuò)晶法的微器件巨量轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括微器件剝離轉(zhuǎn)移模塊(10)、X向擴(kuò)晶模塊(20)、過(guò)渡承接模塊(30)、Y向擴(kuò)晶模塊(40)、目標(biāo)基板承載模塊(50)、微器件補(bǔ)缺模塊(60)、固化模塊(70)、封裝模塊(80)和目標(biāo)基板搬運(yùn)模塊(90)，其中：

所述微器件剝離轉(zhuǎn)移模塊(10)位于X向擴(kuò)晶模塊(20)的上方，其用于將微器件從晶元盤(14)上剝離；

所述X向擴(kuò)晶模塊(20)用于承接從晶元盤(14)上剝離的微器件，并將微器件沿晶元盤的X向擴(kuò)晶；

所述過(guò)渡承接模塊(30)位于X向擴(kuò)晶模塊(20)的右下方，用于承接從X向擴(kuò)晶模塊(20)剝離的微器件，并將微器件旋轉(zhuǎn)90度；

所述Y向擴(kuò)晶模塊(40)位于過(guò)渡承接模塊(30)的右上方，用于承接從過(guò)渡承接模塊(30)上剝離的微器件，并將微器件沿著Y向擴(kuò)晶；

所述目標(biāo)基板承載模塊(50)位于Y向擴(kuò)晶模塊(40)的右下方，用于接收微器件并將目標(biāo)基板(55)送入微器件補(bǔ)缺模塊(60)、固化模塊(70)與封裝模塊(80)中；

所述微器件補(bǔ)缺模塊(60)、固化模塊(70)、封裝模塊(80)與基板搬運(yùn)模塊(90)依次布置于目標(biāo)基板承載模塊(50)的右側(cè)，所述微器件補(bǔ)缺模塊(60)用于實(shí)現(xiàn)目標(biāo)基板(55)上微器件的補(bǔ)缺，所述固化模塊(70)用于實(shí)現(xiàn)微器件與基板的連接，所述封裝模塊(80)用于對(duì)連接后的微器件與基板整體封裝一層保護(hù)層，所述基板搬運(yùn)模塊(90)用于實(shí)現(xiàn)目標(biāo)基板(55)的上下料。

2.如權(quán)利要求1所述的基于雙向擴(kuò)晶法的微器件巨量轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述微器件剝離轉(zhuǎn)移模塊(10)包括晶元自動(dòng)換盤單元(11)、晶元盤移動(dòng)單元(16)、晶元盤托盤(15)、轉(zhuǎn)移激光掃描單元(12)、轉(zhuǎn)移激光剝離單元(13)以及遍歷視覺(jué)單元(17)，所述晶元自動(dòng)換盤單元(11)布置于晶元盤移動(dòng)單元(16)的后方，用于將晶元盤(14)裝入晶元盤移動(dòng)單元(16)上方的晶元盤托盤(15)上，所述轉(zhuǎn)移激光掃描單元(12)與轉(zhuǎn)移激光剝離單元(13)并列布置于晶元盤(14)的上方，分別用于弱化晶元盤上微器件與晶元盤的粘結(jié)強(qiáng)度以及將微器件從晶元盤上剝離，所述遍歷視覺(jué)單元(17)布置于晶元盤(14)的下方，用于檢測(cè)微器件的質(zhì)量并標(biāo)識(shí)不良微器件。

3.如權(quán)利要求2所述的基于雙向擴(kuò)晶法的微器件巨量轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移激光掃描單元(12)包括第一轉(zhuǎn)移激光掃描單元(12a)、第二轉(zhuǎn)移激光掃描單元(12b)以及第三轉(zhuǎn)移激光掃描單元(12c)；所述轉(zhuǎn)移激光剝離單元(13)包括第一轉(zhuǎn)移激光剝離單元(13a)、第二轉(zhuǎn)移激光剝離單元(13b)以及第三轉(zhuǎn)移激光剝離單元(13c)；所述晶元盤(14)包括第一晶元盤(14a)、第二晶元盤(14b)以及第三晶元盤(14c)；所述晶元盤托盤(15)包括第一晶元盤托盤(15a)、第二晶元盤托盤(15b)以及第三晶元盤托盤(15c)；所述晶元盤移動(dòng)單元(16)包括第一晶元盤移動(dòng)單元(16a)、第二晶元盤移動(dòng)單元(16b)以及第三晶元盤移動(dòng)單元(16c)；遍歷視覺(jué)單元(17)包括第一遍歷視覺(jué)單元(17a)、第二遍歷視覺(jué)單元(17b)以及第三遍歷視覺(jué)單元(17c)；所述第一晶元盤(14a)上裝有第一類微器件(1401)，所第二晶元盤(14b)上安裝有第二類微器件(1402)，第三晶元盤(14c)上安裝有第三類微器件(1403)；第一類微器件(1401)、第二類微器件(1402)以及第三類微器件(1403)為三種微器件，三種微器件同時(shí)轉(zhuǎn)移到初級(jí)載帶(24)上，每一類微器件均形成均勻間隔排布。