[發明專利]一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法

有效

• 申請號: 201810988128.1
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN109041561B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 于守淼;于春風;于向陽;朱龍翔;郝世勇;唐婷;張元峰;戰祥新
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍海軍航空大學青島校區
• 主分類號: H05K9/00
• 分類號: H05K9/00;C23C28/00;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/18;C23C16/40;C23C14/20
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 石燕妮

1.一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于，具體加工步驟如下：

S1:采用真空蒸鍍法，以二氧化硅或氧化鋁為蒸發材料，氧氣為補償氣體，在飛機蒙皮表面鍍一層二氧化硅或氧化鋁的絕緣層，所述絕緣層的厚度為0.5-1μm；

S2：采用真空鍍膜法，在經S1處理后的飛機蒙皮絕緣層上鍍一層鉻層，所述鉻層的厚度為0.1-0.5μm；

S3：采用化學氣相沉積法，在30-55℃下，在經S2處理后的鉻層上鍍一層含氟二氧化硅層，所述含氟二氧化硅層的厚度為0.3-0.8μm；

S4：采用真空鍍膜法，在經S3處理后的含氟二氧化硅層上鍍一層銅層，所述銅層的厚度為0.2-0.6μm；

S5：采用點膠處理法，在經S4處理后的銅層上形成一屏蔽層，所述屏蔽層的主要成分為環氧樹酯，所述屏蔽層的厚度為0.5-1μm；

S6：采用真空鍍膜法，在經S5處理后的屏蔽層上鍍一層合金防護層，所述合金防護層的厚度為0.2-0.5μm。

2.根據權利要求1所述的一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述絕緣層的工藝參數為：蒸發電流為5-10mA，氧氣流量為200-350sccm，蒸鍍時間為30-60min。

3.根據權利要求1所述的一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述鉻層的工藝參數為：鉻靶材功率為6-12kw，以氮氣為反應氣體，氮氣的流量為120-180sccm，鍍膜時間為8-15min。

4.根據權利要求1所述的一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述含氟二氧化硅層的工藝參數為：以水和氟鉻三乙氧基烷為反應物，水和氟鉻三乙氧基烷的比例為1:2-1:4，反應室壓力為500-800Pa，沉積時間為40-70min。

5.根據權利要求1所述的一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述銅層的工藝參數為：銅靶材功率為5-10kw，以氮氣為反應氣體，氮氣的流量為100-160sccm，鍍膜時間為10-15min。

6.根據權利要求1所述的一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述屏蔽層的工藝參數為：膠嘴直徑為0.2-0.5mm，點膠步距為1-2mm，點膠直徑為5-15mm。

7.根據權利要求1所述的一種飛機復合材料蒙皮的電磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述合金防護層的工藝參數為：合金材功率為8-14kw，以氮氣為反應氣體，氮氣的流量為120-170sccm，鍍膜時間為7-12min。