[發(fā)明專(zhuān)利]一種太陽(yáng)能級(jí)硅片切割方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810988124.3
• 申請(qǐng)日: 2018-08-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108972925B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘭鳳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 揚(yáng)州宏祥光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 杭州知管通專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33288
• 代理人: 黃華

1.一種太陽(yáng)能級(jí)硅片切割方法，其特征在于，該方法包括以下步驟： S1，在硅片的表面利用電鍍的方法電鍍一層金屬膜；

S2，將S1中電鍍后的硅片放入線切割設(shè)備中切割成片，在線切割的同時(shí)，將硅片作為陽(yáng)極，碳棒作為陰極，電鍍液作為切削液，一邊電鍍一邊切割；

S3，將S2中切割下來(lái)的硅片放入酸洗池中，將硅片表面的金屬膜洗除；

本方法中采用的線切割設(shè)備包括機(jī)體(1)、放料機(jī)構(gòu)(2)、滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)、安裝機(jī)構(gòu)(4)、冷卻機(jī)構(gòu)(5)、輸送機(jī)構(gòu)(6)、緩沖機(jī)構(gòu)(7)、切割機(jī)構(gòu)(8)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)及過(guò)濾機(jī)構(gòu)(10)；所述機(jī)體(1)的側(cè)壁安裝用于固定所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)的所述安裝機(jī)構(gòu)(4)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)的底部安裝有用于切割硅片的所述切割機(jī)構(gòu)(8)，所述機(jī)體(1)的表面固定連接有用于方便上料的所述放料機(jī)構(gòu)(2)，所述機(jī)體(1)的頂部固定連接有用于固定所述切割機(jī)構(gòu)(8)的所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)，所述切割機(jī)構(gòu)(8)滑動(dòng)連接于所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)的內(nèi)部，所述機(jī)體(1)的內(nèi)部設(shè)有與所述切割機(jī)構(gòu)(8)的底部固定連接的所述緩沖機(jī)構(gòu)(7)，所述機(jī)體(1)的側(cè)面設(shè)有用于輸送冷卻液的所述輸送機(jī)構(gòu)(6)，所述切割機(jī)構(gòu)(8)的外側(cè)設(shè)有用于冷卻的、與所述輸送機(jī)構(gòu)(6)連通的所述冷卻機(jī)構(gòu)(5)，所述機(jī)體(1)的側(cè)面設(shè)有用于過(guò)濾冷卻液和玻璃碎屑的所述過(guò)濾機(jī)構(gòu)(10)；

所述安裝機(jī)構(gòu)(4)包括安裝板(41)、固定筒(42)及固定架(43)，所述機(jī)體(1)的其中一個(gè)側(cè)壁固定連接內(nèi)部中空、底部開(kāi)口的所述安裝板(41)，所述機(jī)體(1)的側(cè)壁設(shè)有與所述安裝板(41)對(duì)應(yīng)的所述固定架(43)，所述固定架(43)的內(nèi)部焊接呈中空?qǐng)A柱型結(jié)構(gòu)的所述固定筒(42)；

所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)包括檢修板(91)、兩個(gè)曲桿(92)、旋轉(zhuǎn)套(93)、固定軸(94)、連桿(95)、電機(jī)(96)及曲軸(97)，所述機(jī)體(1)的另一側(cè)壁安裝所述電機(jī)(96)，所述安裝板(41)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與所述電機(jī)(96)固定連接的所述曲軸(97)，所述曲軸(97)的表面固定連接長(zhǎng)度相等的所述曲桿(92)，兩個(gè)所述曲桿(92)的底部分別螺紋連接內(nèi)部中空的、外側(cè)壁呈六棱柱結(jié)構(gòu)的兩個(gè)所述旋轉(zhuǎn)套(93)，兩個(gè)所述旋轉(zhuǎn)套(93)的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接呈“U”形結(jié)構(gòu)的所述固定軸(94)，所述固定軸(94)的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述連桿(95)，所述連桿(95)、所述旋轉(zhuǎn)套(93)、所述曲桿(92)及所述曲軸(97)之間呈“幾”字形結(jié)構(gòu)，所述安裝板(41)的側(cè)面設(shè)有方便檢修的所述檢修板(91)；

所述切割機(jī)構(gòu)(8)包括固定頭(81)、內(nèi)六角螺母(82)、金剛石線(83)、安裝架(84)、連接頭(85)及張緊輪(86)，呈弧形結(jié)構(gòu)的所述安裝架(84)通過(guò)所述固定頭(81)焊接于所述連桿(95)的底部，所述金剛石線(83)的一端通過(guò)所述內(nèi)六角螺母(82)固定于所述固定頭(81)的側(cè)壁，所述金剛石線(83)纏繞位于所述安裝架(84)底部的所述張緊輪(86)的表面，所述金剛石線(83)的另一端固定于位于所述安裝架(84)側(cè)面的所述連接頭(85)的內(nèi)部；

所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)包括滑槽(31)、固定柱(32)及滑塊(33)，所述機(jī)體(1)的頂部設(shè)有側(cè)壁開(kāi)設(shè)所述滑槽(31)的所述固定柱(32)，所述安裝架(84)側(cè)面的呈“T”形結(jié)構(gòu)的所述滑塊(33)滑動(dòng)于所述滑槽(31)的內(nèi)部；

所述緩沖機(jī)構(gòu)(7)包括彈簧(71)、保護(hù)柱(72)及出水孔(73)，所述機(jī)體(1)內(nèi)固定連接呈中空?qǐng)A柱形結(jié)構(gòu)的、側(cè)壁開(kāi)設(shè)所述出水孔(73)的所述保護(hù)柱(72)，所述保護(hù)柱(72)的內(nèi)部固定連接有與所述安裝架(84)的底部固定連接的所述彈簧(71)；

所述放料機(jī)構(gòu)(2)包括放料板(21)及出料口(22)，所述機(jī)體(1)的表面固定連接用于放玻璃的所述放料板(21)，所述機(jī)體(1)的側(cè)壁開(kāi)設(shè)與所述放料板(21)對(duì)應(yīng)的、用于出料的所述出料口(22)；

所述輸送機(jī)構(gòu)(6)包括輸送管(61)、水泵(62)及水箱(63)，所述機(jī)體(1)的側(cè)面固定連接應(yīng)用于裝冷卻液的所述水箱(63)，位于所述機(jī)體(1)側(cè)壁的所述輸送管(61)貫穿所述水箱(63)的內(nèi)部與所述水泵(62)連通；所述冷卻機(jī)構(gòu)(5)包括防護(hù)罩(51)、噴水孔(52)及出水管(53)，位于所述金剛石線(83)外側(cè)的呈中空?qǐng)A臺(tái)形結(jié)構(gòu)的所述防護(hù)罩(51)與所述輸送管(61)固定連接，所述輸送管(61)貫穿所述防護(hù)罩(51)的內(nèi)部與所述出水管(53)連通，呈螺旋形分布于所述防護(hù)罩(51)內(nèi)側(cè)壁的所述出水管(53)的側(cè)面開(kāi)設(shè)用于噴射冷卻液的、噴灑均勻的為所述金剛石線(83)散熱的所述噴水孔(52)；

所述過(guò)濾機(jī)構(gòu)(10)包括濾板(101)、濾簍(102)及滑架(103)，所述機(jī)體(1)的側(cè)面轉(zhuǎn)動(dòng)連接用于過(guò)濾冷卻液中玻璃的所述濾板(101)，所述機(jī)體(1)的底部固定連接有位于所述濾板(101)底部的所述滑架(103)，用于收集玻璃渣的所述濾簍(102)滑動(dòng)連接于所述滑架(103)；

首先將硅板放置在機(jī)體(1)表面的放料板(21)上，將電機(jī)(96)接通電源實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)帶動(dòng)切割機(jī)構(gòu)(8)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將要切割的硅板緩慢放到金剛石線(83)表面進(jìn)行切割，切割時(shí)將水泵(62)接通電源實(shí)現(xiàn)輸送管將水箱(63)的內(nèi)部冷卻液抽到冷卻機(jī)構(gòu)(5)進(jìn)行冷卻金剛石線(83)，玻璃碎屑和冷卻過(guò)的冷卻液流到機(jī)體(1)側(cè)面的濾板(101)進(jìn)行過(guò)濾，避免水泵堵塞，打開(kāi)濾簍(102)處理碎屑。