[發明專利]氣體流量監測系統及監測和主備用切換方法

在審

• 申請號: 201810984779.3
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN109085812A
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 馮文杰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G05B23/00
• 分類號: G05B23/00;G05D7/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種氣體流量監測系統，其特征在于，所述監測系統包括：至少一主用管路和一備用管路，所述主用管路和備用管路的一端分別連接至一外部氣體供應系統，所述主用管路和備用管路的另一端分別連接至制程腔體；在所述主用管路上安裝一主用質量流量控制器、至少一主用氣動開關閥和主用開關閥，在所述備用管路上安裝一備用質量流量控制器和至少一備用氣動開關閥，在所述備用管路和每一所述主用管路之間安裝一備用開關閥。

2.根據權利要求1所述的氣體流量監測系統，其特征在于，在所述主用管路上和所述備用管路上還分別安裝有主用調壓閥和備用調壓閥；所述主用調壓閥和所述備用調壓閥均用于調節流經所述主用質量流量控制器和所述備用質量流量控制器的氣體的壓力。

3.根據權利要求1所述的氣體流量監測系統，其特征在于，在所述主用管路上和所述備用管路上還分別安裝有主用管路開關閥和備用管路開關閥，所述主用管路開關閥和所述備用管路開關閥分別用于允許/禁止從所述氣體供應系統所輸出的氣體流入主用管路和備用管路。

4.根據權利要求1所述的氣體流量監測系統，其特征在于，在所述主用管路上還安裝有壓力計，所述壓力計用于測量從所述氣體供應系統所流出并流入至所述主用管路的氣體的壓力。

5.根據權利要求1所述的氣體流量監測系統，其特征在于，當所述主用管路的數量為至少兩個時，在所述主用管路與所述制程腔體之間安裝流量比例控制器，所述流量比例控制器也連接至所述備用管路；所述流量比例控制器用于控制每一所述主用管路或所述備用管路流入至所述制程腔體的氣體流量的比例。

6.一種采用權利要求1所述的氣體流量監測系統的監測方法，其特征在于，所述監測方法包括以下步驟：

(a)將安裝在備用管路上的備用管路開關閥設置為關閉狀態，以使備用質量流量控制器處于備用狀態；

(b)對主用管路中的需檢測的主用質量流量控制器進行流量控制精度檢測，以獲取需檢測的主用管路平均流量值；

(c)將連接至所述需檢測的主用質量流量控制器的相應主用管路上的主用開關閥關閉；

(d)將與連接至所述需檢測的主用質量流量控制器的相應主用管路相連的相應備用開關閥開啟；

(e)將備用管路開關閥和備用氣動開關閥開啟；

(f)對備用質量流量控制器進行流量控制精度檢測，以獲取備用管路平均流量值；

(g)將所述需檢測的主用管路平均流量與所述備用管路平均流量值進行比較，當兩者的差值超過一閾值時，則判斷出需檢測的質量流量控制器為異常狀態。

7.根據權利要求6所述的監測方法，其特征在于，在步驟(g)中，所述閾值為5％。

8.根據權利要求6所述的監測方法，其特征在于，在步驟(g)之后，進一步包括：

(h)將備用開關閥和備用氣動開關閥關閉；

(i)將在步驟(e)中已關閉的主用氣動開關閥開啟；

(j)將在步驟(c)中已關閉的主用開關閥開啟。

9.一種采用權利要求1所述的氣體流量監測系統的主備用切換方法，其特征在于，所述主備用切換方法包括以下步驟：

(1)將異常的主用管路上的主用開關閥關閉；

(2)將與所述異常的主用管路相連的相應備用開關閥開啟；

(3)將連接至所述異常的主用管路上的主用氣動開關閥的信號線拆卸；

(4)將拆卸下的信號線安裝在備用氣動開關閥上，以接收一外部設備的主備用切換控制指令。