[發(fā)明專利]一種高精度外直角測(cè)量的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810982746.5
• 申請(qǐng)日: 2018-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN108955580A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉祺;何蕓;李祝;段會(huì)宗;覃璇;葉賢基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/26
• 分類號(hào): G01B11/26;G01C15/12
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.一種高精度外直角測(cè)量的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：通過兩臺(tái)光軸相互垂直的自準(zhǔn)直儀搭建光路，得到出射光和被反射之后接收到的光之間的偏角，該偏角被分離成X方向和Y方向兩個(gè)方向上的分量；

S2：利用干涉儀測(cè)量空心直角棱鏡的直角精度，進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)定；

S3：在X方向和Y方向兩個(gè)維度上分別調(diào)節(jié)兩自準(zhǔn)直儀，令兩臺(tái)自準(zhǔn)直儀讀數(shù)的X和Y兩個(gè)維度上均顯示為零，固定自準(zhǔn)直儀；

S4：用待測(cè)光學(xué)元件取代標(biāo)定用的空心直角棱鏡，擺放在兩自準(zhǔn)直儀光軸相交的位置進(jìn)行測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度外直角測(cè)量的方法，其特征在于：在所述步驟S2中，所述干涉儀為ZYGO激光干涉儀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度外直角測(cè)量的方法，其特征在于：在所述步驟S2中，選取的空心直角棱鏡精度優(yōu)于30角秒。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的一種高精度外直角測(cè)量的方法，其特征在于：用垂直度誤差Δ₀表示標(biāo)定空心直角棱鏡的誤差；所述步驟S4X方向上讀數(shù)為A_bx，則待測(cè)元件的直角精度Δ_c為：Δ_c＝A_bx-Δ₀。