[發明專利]一種超高真空紅外光譜原位分析系統在審

申請號：	201810974831.7	申請日：	2018-08-24
公開（公告）號：	CN110857912A	公開（公告）日：	2020-03-03
發明（設計）人：	嚴潔;劉建;高平;孫曉軍;劉維民	申請（專利權）人：	中國科學院蘭州化學物理研究所
主分類號：	G01N21/3563	分類號：	G01N21/3563
代理公司：	蘭州中科華西專利代理有限公司 62002	代理人：	周瑞華
地址：	730000 甘***	國省代碼：	甘肅;62
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種超高真空紅外光譜原位分析系統
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種超高真空紅外光譜原位分析系統，包括紅外光譜儀（2），其特征在于該系統還包括與超高真空樣品室（1）相連的樣品控制裝置（6）和超高真空獲得裝置；所述超高真空樣品室（1）兩側設有超高真空KBr紅外窗口（7）；所述超高真空獲得裝置包括無油機械泵（4）、渦輪分子泵（5）和濺射離子泵；所述樣品控制裝置（6）由微分頭通過軸、桿控制其下方的樣品架，并與超高真空樣品室（1）采用金屬封接，通過波紋管進行力及運動的傳遞。

2.如權利要求1所述的系統，其特征在于所述超高真空樣品室（1）通過其上所設閘板閥（3）與空間摩擦學實驗系統連接。

3.如權利要求2所述的系統，其特征在于所述閘板閥（3）為雙閘板閥。

4.如權利要求1所述的系統，其特征在于所述超高真空獲得裝置的極限真空為10^-8 Pa。

5.如權利要求1所述的系統，其特征在于所述紅外光譜儀（2）的光路系統采用掠入射的角度為4^o模式進行紅外光譜采集。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院蘭州化學物理研究所，未經中國科學院蘭州化學物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810974831.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。