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[發明專利]一種含釔的稀土拋光液及其制備方法在審

專利信息
申請號: 201810973281.7 申請日: 2018-08-24
公開(公告)號: CN109096922A 公開(公告)日: 2018-12-28
發明(設計)人: 姜霽濤;史俊龍;牛娟娟;金玉培;蔣春虎;柴進忠;馬相琴;雷美美;王保國;李成榮 申請(專利權)人: 甘肅稀土新材料股份有限公司
主分類號: C09G1/02 分類號: C09G1/02
代理公司: 甘肅省知識產權事務中心 62100 代理人: 馬英
地址: 730922*** 國省代碼: 甘肅;62
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摘要:
搜索關鍵詞: 釔稀土 抗板結劑 分散劑 拋光粉 拋光液 增效劑 溶劑 稀土拋光液 玻璃拋光 光學鏡頭 手機蓋板 研磨材料 拋光 制備
【說明書】:

一種含釔稀土拋光液,包括含釔稀土拋光粉、分散劑、抗板結劑、增效劑和溶劑;其中,各組分的質量百分含量為:含釔稀土拋光粉為10~50%,分散劑為0.3%~1.5%,抗板結劑為0.5%~3%,增效劑為0.2%~5%,余量為溶劑;所述拋光液PH為7.5~9.5。本發明作為研磨材料,主要用途為手機蓋板玻璃拋光及其它光學鏡頭的拋光。

技術領域

本發明涉及一種含釔的稀土拋光液及其制備方法,屬于稀土材料制備技術領域。

背景技術

隨著電子信息技術的迅猛發展,傳統的應用于光電材料的拋光技術只能做到一般的平坦化處理,只有用性能更高的稀土拋光液CMP技術才能夠實現對光電材料的全局平坦化處理,隨著5G技術的推廣,拋光液將占有更大的市場份額。

在已有的專利文獻中稀土拋光液的制造原料主要為鑭鈰系列、鑭鈰鐠系列、鑭鈰鐠釹系列,純鈰系列,及部分摻雜鋁、硅的稀土拋光粉,而在現有元素中摻雜釔元素的稀土拋光液還未見報道。低純度的粗釔不僅價值低而且無法形成市場銷售,造成大量資源積壓。在稀土拋光液中添加釔元素不僅有很好的粒度分布及研磨性能,提高循環使用效率,而且能夠將資源充分利用。

發明內容

本發明提供一種含釔稀土拋光液及其制備方法,制得的稀土拋光液松懸浮性好、不板結、切削速度快,玻璃表面光潔度好。

本發明所采用的技術方案為:

一種含釔稀土拋光液,包括含釔稀土拋光粉、分散劑、抗板結劑、增效劑和溶劑;其中,各組分的質量百分含量為:含釔稀土拋光粉為10~50%,分散劑為0.3%~1.5%,抗板結劑為0.5%~3%,增效劑為0.2%~5%,余量為溶劑;所述拋光液PH為7.5~9.5。

所述含釔稀土拋光粉其成份按稀土質量比計,CeO2含量的比例占20~99.9%,Y2O3含量的比例占0.1%~80%。

所述含釔稀土拋光粉其成份按稀土質量比計,CeO2含量的比例占10~99.8%,Y2O3含量的比例占0.1%~60%,La2O3含量的比例占0.1~30%。

所述含釔稀土拋光粉其成份按稀土質量比計,CeO2含量的比例占20~99.5%,Y2O3含量的比例占0.1%~60%,La2O3含量的比例占0~30%,Pr7O11含量的比例占0~4%,Nd2O3含量的比例占0~4%。

一種含釔稀土拋光液的制備工藝,包括如下步驟:

a、制備稀土拋光粉前驅體,稀土拋光粉前驅體為稀土氧化物、碳酸鹽、硫酸鹽或硝酸鹽的一種或多種混合物;

b、對上述前驅體進行氟化,控制氟的含量為TREO的0~20%,氟化劑是氟化氫銨、硅氟酸、氫氟酸、氟化釔、氟化鈉和氟化銨的一種或多種混合物;氟化后烘干煅燒,烘干溫度為200~900℃,煅燒溫度為850~1100℃;

c、將煅燒產物破碎分級,破碎分級的粒度要求為D50:0.5~4.0um,D100:3~16um。

d、將破碎后的拋光粉按比例加入分散劑、抗板結劑、增效劑及溶劑,混勻調漿,球磨2

~4h,過篩灌裝后即得到含釔稀土拋光液。

所述分散劑為六偏磷酸鈉,所述抗板結劑為二氧化硅,所述增效劑為三聚磷酸鈉和七鉬酸銨,所述溶劑為水。

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