[發(fā)明專利]半導(dǎo)體、太陽能電池用印刷摻雜漿料

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810971967.2
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN110858614A
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李平;徐芳榮;池田武史
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗先端材料研究開發(fā)（中國）有限公司
• 主分類號: H01L31/0304
• 分類號: H01L31/0304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于，含有：

摻雜劑A、

聚合物B、

有機(jī)硅C、

增稠劑D、和

混合溶劑E；

其中，

所述有機(jī)硅C為含有式1所示結(jié)構(gòu)片段的聚合物：

其中，式1中R1為氫、羥基、烷基或烷氧基中的任意一種；

R2為含雜原子的烷基或氫；

p＝0～8，q＝0～8，且p+q＝1～8。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述R1為氫或羥基。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述R2為碳原子數(shù)為1～6且含雜原子的烷基，其中所含雜原子為O、S或N。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述p＝0～6，q＝0～6，且p+q＝1～6。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述式1中結(jié)構(gòu)為環(huán)氧乙烷基、環(huán)氧丙烷基、環(huán)氧丁烷基、環(huán)氧戊烷基、1，3-環(huán)氧丙烷基、1，4-環(huán)氧丁烷基、1，5-環(huán)氧戊烷基或1，6-環(huán)氧己烷基中的任意一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述有機(jī)硅C中還含有由式1環(huán)氧基團(tuán)開環(huán)得到的下述式2所示的結(jié)構(gòu)片段：

所述式2結(jié)構(gòu)片段的摩爾含量即開環(huán)率r/(r+m)＝0～50％。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述開環(huán)率r/(r+m)＝0～30％。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述開環(huán)率r/(r+m)＝0～10％。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述摻雜劑A為硼或磷化合物。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述摻雜劑A為無機(jī)硼化合物或無機(jī)磷化合物。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于太陽能和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述摻雜劑A為硼酸或三氧化二硼。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述增稠劑D為水溶性聚合物。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述增稠劑D選自甲基纖維素、乙基纖維素、丙基纖維素、羥甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥丙基纖維素、羧甲基纖維素、甲基羥乙基纖維素、乙基羥乙基纖維素、甲基羥丙基纖維素、醋酸纖維素、醋酸丁酸纖維素、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚氧化乙烯、卡波樹脂、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯或聚氨酯中的一種或多種。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于太陽能電池和半導(dǎo)體的可印刷摻雜漿料，其特征在于：所述增稠劑D選自聚氨酯、聚丙烯酰胺、聚乙烯吡咯烷酮或聚丙烯酸酯中的一種或多種。

15.一種雜質(zhì)擴(kuò)散層的形成方法，其特征在于其含有如下步驟：

使用權(quán)利要求1～14所述的可印刷摻雜漿料在硅基板的一側(cè)整面印刷，或在硅基板的一側(cè)或兩側(cè)上局部印刷摻雜漿料，干燥得到涂源層；經(jīng)擴(kuò)散使涂源層中的硼擴(kuò)散至基板中形成雜質(zhì)擴(kuò)散層或局部摻雜區(qū)。