[發(fā)明專利]芯片切割清洗設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810969520.1
• 申請(qǐng)日: 2018-08-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108818987A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃曉波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶市嘉凌新科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00;B28D7/04
• 代理公司: 重慶強(qiáng)大凱創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50217
• 代理人: 成艷

1.芯片切割清洗設(shè)備，包括切割機(jī)構(gòu)和清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述清洗機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的清洗盤，所述清洗盤的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有用于夾持晶圓的夾子，清洗盤上設(shè)有環(huán)形的滑槽，夾子位于滑槽的圓心處，所述滑槽上滑動(dòng)連接有噴頭，所述夾子與噴頭之間連接有連桿，夾子上連接有用于驅(qū)動(dòng)夾子轉(zhuǎn)動(dòng)的第一電機(jī)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片切割清洗設(shè)備，其特征在于：所述切割機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對(duì)的檢測(cè)塊，兩個(gè)檢測(cè)塊相對(duì)的側(cè)部上均設(shè)有檢測(cè)桿，所述檢測(cè)塊遠(yuǎn)離檢測(cè)桿的側(cè)部均連接有壓簧，檢測(cè)塊的頂端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一鏈輪，檢測(cè)塊的頂部均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有擺動(dòng)桿，兩個(gè)擺動(dòng)桿遠(yuǎn)離檢測(cè)塊的端部相互轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)擺動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的位置上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二鏈輪，所述第一鏈輪和第二鏈輪上連接有鏈條，所述鏈條上設(shè)有切割機(jī)，切割機(jī)上連接有豎直設(shè)置的切割刀；所述第一鏈輪上連接有第二電機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片切割清洗設(shè)備，其特征在于：所述噴頭的形狀為長(zhǎng)條狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片切割清洗設(shè)備，其特征在于：還包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括絲杠，所述絲杠螺紋連接有移動(dòng)塊，移動(dòng)塊上連接有支撐桿，所述支撐桿上連接有吸盤，所述絲杠的端部連接有直齒輪，直齒輪上間歇嚙合有扇形齒輪，扇形齒輪上連接有第三電機(jī)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片切割清洗設(shè)備，其特征在于：兩個(gè)檢測(cè)塊之間連接有壓板，所述壓板上設(shè)有橫向的刀槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的芯片切割清洗設(shè)備，其特征在于：所述壓簧遠(yuǎn)離檢測(cè)塊的一端均連接有壓塊。