[發明專利]一種LED制作專用的晶圓滾磨加工設備在審
| 申請號: | 201810966036.3 | 申請日: | 2018-08-23 |
| 公開(公告)號: | CN109048658A | 公開(公告)日: | 2018-12-21 |
| 發明(設計)人: | 孫俊彪 | 申請(專利權)人: | 孫俊彪 |
| 主分類號: | B24B41/06 | 分類號: | B24B41/06;B24B21/02;B24B21/18;B24B55/08;B24B47/08 |
| 代理公司: | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人: | 朱海江 |
| 地址: | 200051 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 滾磨 硅晶棒 底板 轉動板 加工設備 轉動電機 專用的 晶圓 二次檢測 輔助裝置 固定工具 固定裝置 人工調節 現有設備 執行裝置 電機座 輸出軸 對滾 制作 左端 回收 檢測 保證 | ||
1.一種LED制作專用的晶圓滾磨加工設備,包括底板(1),其特征在于:底板(1)上通過電機座安裝有轉動電機(2),轉動電機(2)的輸出軸上安裝有滾磨轉動板(3),滾磨轉動板(3)的右端安裝有滾磨執行裝置(4),滾磨轉動板(3)中部安裝有滾磨固定裝置(5),底板(1)的左端安裝有滾磨輔助裝置(6);
所述滾磨固定裝置(5)包括通過軸承安裝在滾磨轉動板(3)上的固定旋轉柱(51),固定旋轉柱(51)為空殼結構,固定旋轉柱(51)上沿其周向方向均勻設置有固定調節槽,固定調節槽內設置有固定調節機構(52),固定旋轉柱(51)的內壁上安裝有固定推動氣缸(53),固定推動氣缸(53)的頂端通過法蘭安裝在固定驅動架(54)上,固定驅動架(54)與固定調節機構(52)之間相互配合運動;
所述滾磨輔助裝置(6)包括通過電機座安裝在底板(1)上的輔助轉向電機(61),輔助轉向電機(61)的輸出軸上安裝有輔助轉向板(62),輔助轉向板(62)上安裝有輔助升降氣缸(63),輔助升降氣缸(63)的頂端通過法蘭安裝在輔助升降架(64)上,輔助升降架(64)的側壁上安裝有輔助伸縮氣缸(65),輔助伸縮氣缸(65)的頂端通過法蘭安裝在輔助支撐架(66)上,輔助支撐架(66)上設置有輔助作業孔,輔助作業孔內通過滑動配合方式安裝有輔助抵靠架(67),輔助抵靠架(67)呈倒T型結構,且輔助抵靠架(67)的下端包裹有橡膠,輔助抵靠架(67)與輔助支撐架(66)之間設置有輔助復位彈簧(68),輔助抵靠架(67)的上端通過軸承設置有輔助輥(69),輔助支撐架(66)上通過銷軸設置有輔助工作板(610),輔助工作板(610)抵靠在輔助輥(69)的外壁上,且輔助工作板(610)與輔助支撐架(66)之間通過銷軸連接有輔助工作氣缸(611);
所述滾磨執行裝置(4)包括安裝在滾磨轉動板(3)上的滾磨參照架(41),滾磨參照架(41)的中部設置有滾磨調節槽,滾磨調節槽內設置有滾磨調節機構(7),滾磨參照架(41)與滾磨轉動板(3)之間通過滑動配合方式連接有執行安裝架(42),執行安裝架(42)與滾磨參照架(41)的內壁之間連接有執行彈簧(43),執行安裝架(42)的內壁上通過電機座安裝有執行驅動電機(44),執行驅動電機(44)的輸出軸上通過聯軸器與執行絲杠(45)的下端相連,執行絲杠(45)的上端通過軸承安裝在執行安裝架(42)上,執行絲杠(45)上設置有執行滑塊(46),執行滑塊(46)通過滑動配合方式與執行安裝架(42)相連,執行滑塊(46)上安裝有執行作業架(47),執行作業架(47)的側壁上設置有除塵口,除塵口處設計有除塵機構(48),執行作業架(47)上設置有執行機構(49),執行機構(49)位于除塵機構(48)的正上方。
2.根據權利要求1所述的一種LED制作專用的晶圓滾磨加工設備,其特征在于:所述滾磨調節機構(7)包括安裝在執行滑塊(46)上的調節聯動桿(71),調節聯動桿(71)位于滾磨調節槽內,調節聯動桿(71)上通過銷軸連接有調節從動桿(72),調節從動桿(72)通過軸承安裝在調節轉動板(73)上,調節轉動板(73)安裝在調節工作電機(74)的輸出軸上,調節工作電機(74)通過電機座安裝在滾磨參照架(41)上。
3.根據權利要求1所述的一種LED制作專用的晶圓滾磨加工設備,其特征在于:所述除塵機構(48)包括安裝在除塵口內的除塵管(481),除塵管(481)的下端通過螺紋固定連接有除塵袋(482),執行作業架(47)上通過銷軸鏈接有除塵罩(483),除塵罩(483)的上端為圓弧狀彎曲結構,且除塵罩(483)的側壁上設置有除塵滾珠(484),除塵罩(483)與執行作業架(47)之間通過銷軸鏈接有除塵調節氣缸(485)。
4.根據權利要求1所述的一種LED制作專用的晶圓滾磨加工設備,其特征在于:所述執行機構(49)包括安裝在執行作業架(47)上的兩個執行固定架(491),兩個執行固定架(491)對稱位于執行作業架(47)的前后兩側,每個執行固定架(491)上均通過軸承安裝有一個執行滾磨輥(492),安裝在兩個執行滾磨架上的執行滾磨輥(492)之間設置有執行滾磨帶(493),位于執行作業架(47)前端的執行滾磨輥(492)通過聯軸器與執行滾磨電機(494)的輸出軸相連,執行滾磨電機(494)通過電機座安裝在執行固定架(491)上。
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