[發(fā)明專利]一種CMP離散數(shù)據(jù)曲面重構(gòu)方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810959807.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110858413B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐勤志;楊飛;陳嵐;曹鶴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): G06T17/20
• 分類號(hào): G06T17/20
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種CMP離散數(shù)據(jù)曲面重構(gòu)方法，其特征在于，包括：

根據(jù)獲得的初始CMP離散數(shù)據(jù)，生成所述離散數(shù)據(jù)重構(gòu)的初始計(jì)算網(wǎng)格，并確定坐標(biāo)平面；

對(duì)所述坐標(biāo)平面確定的構(gòu)造點(diǎn)的鄰域和外圍區(qū)域進(jìn)行初始賦值，獲得所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值；

依據(jù)所述離散數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)位置和所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值，對(duì)所述離散數(shù)據(jù)進(jìn)行連續(xù)延拓和修正處理，獲得所述離散數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的初始重構(gòu)二維曲面；

對(duì)所述初始重構(gòu)二維曲面進(jìn)行光滑處理，獲得光滑重構(gòu)曲面；

對(duì)所述光滑重構(gòu)曲面進(jìn)行插值處理，獲得初始目標(biāo)曲面；

采用直角坐標(biāo)表示所述初始目標(biāo)曲面，獲得所述離散數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的目標(biāo)重構(gòu)曲面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)獲得的初始CMP離散數(shù)據(jù)，生成所述離散數(shù)據(jù)重構(gòu)的初始計(jì)算網(wǎng)格，并確定坐標(biāo)平面，包括：

將預(yù)設(shè)的晶圓圓心作為極坐標(biāo)原點(diǎn)，建立極坐標(biāo)系；

將所述離散數(shù)據(jù)確定為基準(zhǔn)點(diǎn)，并根據(jù)所述基準(zhǔn)點(diǎn)確定構(gòu)造點(diǎn)；

在所述極坐標(biāo)系上確定基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)位置和所述構(gòu)造點(diǎn)的坐標(biāo)位置，并確定坐標(biāo)平面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述對(duì)所述坐標(biāo)平面確定的構(gòu)造點(diǎn)的鄰域和外圍區(qū)域進(jìn)行初始賦值，獲得所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值，包括：

將所有所述基準(zhǔn)點(diǎn)分別作為中心畫(huà)圓，確定出圓心距離間最短的路徑；

根據(jù)所述最短路徑確定圓域；

在所述圓域內(nèi)以所述基準(zhǔn)點(diǎn)為鄰域?qū)λ鰳?gòu)造點(diǎn)進(jìn)行函數(shù)賦值；

對(duì)所述圓域以外的構(gòu)造點(diǎn)，根據(jù)所述基準(zhǔn)點(diǎn)的加權(quán)平均值，對(duì)所述構(gòu)造點(diǎn)進(jìn)行函數(shù)賦值；

根據(jù)所述函數(shù)賦值，確定所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述依據(jù)所述離散數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)位置和所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值，對(duì)所述離散數(shù)據(jù)進(jìn)行連續(xù)延拓和修正處理，獲得所述離散數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的初始重構(gòu)二維曲面，包括：

根據(jù)所述基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)和所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值，計(jì)算獲得所述構(gòu)造點(diǎn)與所述基準(zhǔn)點(diǎn)之間的距離值；

根據(jù)所述距離值，判斷所述基準(zhǔn)點(diǎn)的函數(shù)值與所述構(gòu)造點(diǎn)的函數(shù)值是否滿足預(yù)設(shè)條件，其中，所述預(yù)設(shè)條件包括李普西茲條件；

如果否，則對(duì)所述構(gòu)造點(diǎn)的初始函數(shù)值進(jìn)行更新，獲得更新后的所述構(gòu)造點(diǎn)的函數(shù)值；

對(duì)更新后的所述構(gòu)造點(diǎn)的函數(shù)值進(jìn)行修正處理，直至所述構(gòu)造點(diǎn)的函數(shù)值滿足所述預(yù)設(shè)條件；

對(duì)修正后的構(gòu)造點(diǎn)的函數(shù)值進(jìn)行周期性處理，獲得所述離散數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的初始重構(gòu)二維曲面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述對(duì)所述初始重構(gòu)二維曲面進(jìn)行光滑處理，獲得光滑重構(gòu)曲面，包括：

根據(jù)所述初始重構(gòu)二維曲面中的構(gòu)造點(diǎn)，計(jì)算獲得所述構(gòu)造點(diǎn)的一階偏導(dǎo)數(shù)；

對(duì)所述一階偏導(dǎo)數(shù)，采用一階函數(shù)近似處理，獲得更新后的構(gòu)造點(diǎn)函數(shù)值，直至所述更新后的構(gòu)造點(diǎn)函數(shù)值滿足預(yù)設(shè)數(shù)值；

根據(jù)所述更新后的構(gòu)造點(diǎn)函數(shù)值，獲得光滑重構(gòu)曲面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述對(duì)所述光滑重構(gòu)曲面進(jìn)行插值處理，獲得初始目標(biāo)曲面，包括：

對(duì)所述光滑重構(gòu)曲面對(duì)應(yīng)的構(gòu)造點(diǎn)進(jìn)行插值運(yùn)算，獲得所有加細(xì)網(wǎng)格的插值函數(shù)值；

根據(jù)所述插值函數(shù)值對(duì)所述光滑重構(gòu)曲面進(jìn)行插值處理，獲得初始目標(biāo)曲面。