[發(fā)明專利]一種集成化主動冷卻粒子流探針在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810957662.6 | 申請日： | 2018-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN109215808A | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李強;羅廣南;王萬景;謝春意 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 |
| 主分類號： | G21B1/25 | 分類號： | G21B1/25;G21C15/14 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人： | 朱榮 |
| 地址： | 230031 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 熱沉 柱狀 探針 冷卻水通道 主動冷卻 分水盒 集成化 粒子流 連通 導(dǎo)出端子 接收探頭 底端 粒子 半圓柱形空腔 冷卻水管道 應(yīng)力緩釋層 使用壽命 底端部 電連通 隔板隔 絕緣管 熱流 貼合 移除 沉積 緊湊 | ||
1.一種集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：包括有粒子接收探頭、柱狀熱沉和電信號導(dǎo)出端子，所述粒子接收探頭的底端通過應(yīng)力緩釋層與柱狀熱沉貼合，所述柱狀熱沉內(nèi)部設(shè)有連通的冷卻水通道，所述冷卻水通道為通過隔板隔開且連通的兩半圓柱形空腔結(jié)構(gòu)，所述柱狀熱沉的底端部電連通有電信號導(dǎo)出端子，所述柱狀熱沉的底端安裝在分水盒上，所述柱狀熱沉與所述分水盒之間設(shè)有絕緣管，所述分水盒內(nèi)設(shè)有與柱狀熱沉冷卻水通道連通的通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的粒子接收探頭由鎢或者鎢合金制成，其位于前端用于與等離子體接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的應(yīng)力緩釋層由無氧銅或鎢銅梯度材料制成，與所述粒子接收探頭和所述柱狀熱沉分別緊密貼合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的柱狀熱沉由鉻鋯銅合金或Al2O3彌散強化銅制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的柱狀熱沉為具有底部開口的半開放圓柱形內(nèi)腔結(jié)構(gòu)，所述半開放圓柱形內(nèi)腔由一隔板分成兩個半圓柱形空間，且所述隔板與所述半開放圓柱形內(nèi)腔頂端之間留有頂部空間，形成途經(jīng)其中一側(cè)半圓柱形空間、頂部空間以及另一側(cè)半圓柱形空間的冷卻水通道。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的柱狀熱沉的外表面設(shè)有絕緣套或絕緣涂層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的電信號導(dǎo)出端子與柱狀熱沉為一體式結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的絕緣管內(nèi)部設(shè)有兩個上下貫通的半圓柱形空間，且其與所述柱狀熱沉的兩個半圓柱形空間連通。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的分水盒由不銹鋼制成，其上設(shè)有進水和出水兩個相互貼合的方形通道，且進水和出水通道頂端設(shè)有半圓形進水口和出水口，所述進水口和出水口分別與所述柱狀熱沉的冷卻水通道連通。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成化主動冷卻粒子流探針，其特征在于：所述的粒子流探針若干個為一組，其分別通過所述絕緣管與所述分水盒組裝焊接成整體。
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