[發明專利]一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法

在審

• 申請號: 201810956965.6
• 申請日: 2018-08-21
• 公開（公告）號: CN109305762A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 范四立;舒雨鋒;毛峰;萬松峰;何慶炎;熊長煒
• 申請（專利權）人: 東莞職業技術學院
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;H01L31/0224
• 代理公司: 北京鑫浩聯德專利代理事務所(普通合伙) 11380
• 代理人: 李荷香;呂愛萍

1.一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其中TCO薄膜由兩層構成，底層是ITO薄膜，上層是FTO薄膜，所述方法包括利用超聲波噴霧成膜裝置形成ITO薄膜和利用熱噴涂成膜裝置形成FTO薄膜的步驟：

1）對玻璃基板先后利用清洗劑、自來水、超純水進行清洗，清洗后將玻璃基板烘干；

2）將1：32的SnCl₄·5H₂O 和InCl₃·5H₂O，溶于18ml醇類和H₂O的溶劑中，配比相應的混合液，并將混合液加入到藥液罐中；

3）利用超聲波噴霧成膜裝置形成ITO薄膜；

4）配備FTO的制備混合液，使用SnCl₄、甲醇與鹽酸進行反應；

5）按照 SnCl₄·5H₂O與NH₄F占4.8Wt%，加入甲醇與水為5.5：1的溶劑中，其中SnCl₄·5H₂O與溶劑之間按照每1g加入5ml的比例進行稀釋；

6）利用熱噴涂成膜裝置制備FTO薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：所述超聲波噴霧成膜裝置包括藥液罐、送液泵、水箱、超聲波發生器、霧化箱、閥門、管線、噴霧頭、排風機，所述超聲波噴霧成膜裝置的藥液罐中儲存有藥液，藥液經過送液泵被輸送至霧化箱，霧化箱放置在水箱中，水箱的底部設置有超聲波發生器，藥液被超聲波發生器霧化后通過管線被輸送至噴霧頭，噴霧頭的下方放置有基板，基板的下方設置有石墨板、加熱臺，加熱臺內設置有加熱絲，在基板的上方設置有排風機。

3.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：所述熱噴涂成膜裝置包括噴涂混合液桶、供液泵、壓縮氣泵、管道、氣管、噴液頭，供液泵的入口管連接在噴涂混合液桶中，供液泵的出口管通過管道連接噴液頭，噴液頭前端還通過氣管連接壓縮氣泵，噴液頭下方設置有加熱臺，加熱臺上設置有基板，加熱臺內部設置有加熱絲。

4.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：步驟2）中混合液中的醇類為甲醇或乙醇。

5.根據權利要求2所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：步驟3）中制備ITO薄膜的基板設置在加熱臺上的石墨板上，石墨板溫度在400℃~500℃之間。

6.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：步驟2）中ITO薄膜的制備混合液中Sn/In的原子比為2.8~3.5Wt% 。

7.根據權利要求3所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：步驟6）中制備FTO薄膜的基板溫度在380℃~420℃之間。

8.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：利用熱噴涂成膜裝置制備FTO薄膜的粒徑可以調整。

9.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：步驟1）中，在清洗的過程中，利用盤刷、滾刷、超聲波等方式組合進行清洗，清洗后利用熱風進行烘干。

10.根據權利要求1所述的一種高性能高霧度TCO玻璃制造方法，其特征在于：步驟3）中，按照附著-結對-成核-小島-合并-薄膜的順序，在玻璃基板上形成薄膜。