[發明專利]一維快速控制反射鏡

有效

• 申請號: 201810944055.6
• 申請日: 2018-08-18
• 公開（公告）號: CN108873319B
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 王代華;梁亮;袁剛
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 重慶華科專利事務所 50123
• 代理人: 康海燕;唐錫嬌

1.一種一維快速控制反射鏡，包括反射鏡片（1）、外框架、位移放大機構（4）和預壓緊在位移放大機構（4）內的疊堆型壓電陶瓷執行器（5），所述外框架為一體成型結構，包括橫向底板（8）、設在橫向底板（8）兩側的相互平行的兩塊縱向側板（12）、與橫向底板（8）平行且橫貫兩塊縱向側板（12）的橫梁（9）和分別位于兩塊縱向側板上端中部的兩個鏡架（6），鏡架（6）通過第一柔性鉸鏈（10）與縱向側板（12）連接，鏡架（6）通過第一柔性連接件（11）與橫梁（9）的端部連接，所述位移放大機構（4）位于橫向底板（8）與橫梁（9）之間，且上部與橫梁（9）固定連接、下部與橫向底板（8）固定連接，所述反射鏡片（1）的端部固定連接在鏡架（6）上，鏡架（6）與反射鏡片（1）能繞旋轉軸線轉動偏擺；其特征在于：所述反射鏡還包括電容式微位移傳感器，所述電容式微位移傳感器包括反映反射鏡片（1）轉動偏擺的動極板和位于反射鏡片（1）下方的第一、第二定極板組件（2、3），第一定極板組件（2）與第二定極板組件（3）相互平行的固定在傳感器支架（7）上，且分別位于所述旋轉軸線下方兩側，第一定極板組件（2）的第一定極板、第二定極板組件（3）的第二定極板都與所述動極板正對，傳感器支架（7）固定連接在兩塊縱向側板（12）的上安裝面上；

所述橫梁（9）的端部通過設在縱向側板（12）的導向孔內的柔性導向機構與縱向側板（12）連接；所述柔性導向機構由豎直連接在橫梁（9）的端部下表面的支撐臂（18）和關于支撐臂（18）對稱的兩組柔性導向件構成，每組柔性導向件又由上下對稱的兩個第二柔性連接件構成，第二柔性連接件由第二、第三、第四柔性鉸鏈（13、14、15）和第一、第二連接臂（16、17）構成，第二柔性鉸鏈（13）與第四柔性鉸鏈（15）處于同一水平線上，第三柔性鉸鏈（14）處于第二柔性鉸鏈（13）所在的水平線下方或者上方，第二柔性鉸鏈（13）的一側與縱向側板（12）的導向孔壁連接、另一側與第一連接臂（16）的一側連接，第一連接臂（16）的另一側與第三柔性鉸鏈（14）的一側連接，第三柔性鉸鏈（14）的另一側與第二連接臂（17）的一側連接，第二連接臂（17）的另一側與第四柔性鉸鏈（15）的一側連接，第四柔性鉸鏈（15）的另一側與支撐臂（18）連接。

2.根據權利要求1所述的一維快速控制反射鏡，其特征在于：所述反射鏡片（1）為導電體，反射鏡片（1）直接構成所述動極板。

3.根據權利要求1所述的一維快速控制反射鏡，其特征在于：所述反射鏡片（1）為非導電體，所述動極板為覆蓋在反射鏡片（1）的非反光面上的導電膜或者導電極板。

4.根據權利要求1至3任一項所述的一維快速控制反射鏡，其特征在于：所述第一定極板組件（2）的第一定極板和第二定極板組件（3）的第二定極板都由PCB工藝加工獲得。