[發(fā)明專利]一種探針壓接裝置的定位精度補償系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810942651.0
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN108983460B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王瑞亭;姚毅;陸豪亮;華旭東;徐興光;張見
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州凌云視界智能設(shè)備有限責(zé)任公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11363
• 代理人: 逯長明;許偉群

1.一種探針壓接裝置的定位精度補償系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：探針壓接裝置、定位精度測量裝置以及控制器；所述控制器包括測量控制模塊、位移驅(qū)動模塊、數(shù)據(jù)處理模塊和定位精度補償模塊；所述探針壓接裝置包括X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸、Z向驅(qū)動軸和θ向驅(qū)動軸；

所述探針壓接裝置架設(shè)于測試治具上方，與所述位移驅(qū)動模塊相連；所述位移驅(qū)動模塊與所述測量控制模塊相連；所述定位精度測量裝置與所述測量控制模塊相連；所述測量控制模塊與所述數(shù)據(jù)處理模塊相連；所述數(shù)據(jù)處理模塊與所述定位精度補償模塊相連；

其中：

所述測量控制模塊，用于當(dāng)接收到啟動信號或所述定位精度測量裝置發(fā)送的測量反饋信號時，根據(jù)待測LCD的下一個預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)采集點的位置信息，向所述位移驅(qū)動模塊發(fā)送位移指令；當(dāng)接收到位移驅(qū)動模塊發(fā)送的位移反饋信號時，向所述定位精度測量裝置發(fā)送測量指令；

所述位移驅(qū)動模塊，用于根據(jù)接收到的位移指令驅(qū)動所述探針壓接裝置，以使探針針頭移動到相應(yīng)的數(shù)據(jù)采集點，并向所述測量控制模塊發(fā)送位移反饋信號；

所述定位精度測量裝置，用于根據(jù)接收到的測量指令對所述探針針頭的實際位移進行測量，測量結(jié)束后，向所述測量控制模塊發(fā)送測量反饋信號；

所述數(shù)據(jù)處理模塊，用于根據(jù)所述探針針頭到每個數(shù)據(jù)采集點的所述實際位移和理論位移確定定位精度補償曲線，其中，所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于根據(jù)探針針頭到每個所述數(shù)據(jù)采集點的實際位移與理論位移，得到探針壓接裝置對每個數(shù)據(jù)采集點的定位誤差值；所述定位誤差值包括X向誤差值、Y向位誤差值以及θ向誤差值；分別根據(jù)探針針頭到每個所述數(shù)據(jù)采集點的X向誤差值及X向理論位移、Y向誤差值和Y向理論位移以及θ向誤差值和θ向理論位移，擬合得到X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸和θ向驅(qū)動軸的三次樣條插值補償曲線，以所述三次樣條插值補償曲線為所述定位精度補償曲線；

所述定位精度補償模塊，用于根據(jù)所述X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸和θ向驅(qū)動軸的三次樣條插值補償曲線，確定X向補償值、Y向補償值以及θ向補償值；將所述X向補償值、Y向補償值以及θ向補償值輸入至所述位移驅(qū)動模塊中，以補償所述探針壓接裝置的定位精度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述位移指令包括X向位移指令、Y向位移指令以及θ向位移指令。

3.一種探針壓接裝置的定位精度補償方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1所述的定位精度補償系統(tǒng)，所述方法包括：

當(dāng)接收到啟動信號或定位精度測量裝置發(fā)送的測量反饋信號時，根據(jù)待測LCD的下一個預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)采集點的位置信息，驅(qū)動探針壓接裝置，以使探針針頭移動到相應(yīng)的數(shù)據(jù)采集點；所述探針壓接裝置包括X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸、Z向驅(qū)動軸和θ向驅(qū)動軸；

當(dāng)接收到位移反饋信號時，控制定位精度測量裝置對所述探針針頭的實際位移進行測量；

根據(jù)所述探針針頭到每個數(shù)據(jù)采集點的所述實際位移和理論位移確定定位精度補償曲線，其中，所述根據(jù)所述探針針頭到每個數(shù)據(jù)采集點的所述實際位移和理論位移確定定位精度補償曲線包括，根據(jù)探針針頭到每個所述數(shù)據(jù)采集點的實際位移與理論位移，得到探針壓接裝置對每個數(shù)據(jù)采集點的定位誤差值；所述定位誤差值包括X向誤差值、Y向位誤差值以及θ向誤差值；分別根據(jù)探針針頭到每個所述數(shù)據(jù)采集點的X向誤差值及X向理論位移、Y向誤差值和Y向理論位移以及θ向誤差值和θ向理論位移，擬合得到X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸和θ向驅(qū)動軸的三次樣條插值補償曲線，以所述三次樣條插值補償曲線為所述定位精度補償曲線；

根據(jù)所述X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸和θ向驅(qū)動軸的三次樣條插值補償曲線，確定X向補償值、Y向補償值以及θ向補償值；

將所述X向補償值、Y向補償值以及θ向補償值輸入至驅(qū)動探針壓接裝置的程序中，以補償所述探針壓接裝置的定位精度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)待測LCD的下一個預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)采集點的位置信息，驅(qū)動探針壓接裝置，包括：

根據(jù)待測LCD的下一個預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)采集點的位置信息生成位移指令；所述位移指令包括X向位移指令、Y向位移指令以及θ向位移指令；

分別根據(jù)所述X向位移指令、Y向位移指令以及θ向位移指令驅(qū)動所述X向驅(qū)動軸、Y向驅(qū)動軸以及θ向驅(qū)動軸。