[發(fā)明專利]測量設(shè)備及測量方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810941780.8
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN109579713A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳魯;李青格樂;韓子軻;張嵩
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 張全文

1.一種測量設(shè)備，包括用于放置待測物的置物臺，其特征在于，還包括：

二維檢測裝置，設(shè)于所述置物臺上方，用于檢測所述待測物的位置信息；

三維檢測裝置，用于對待測物進行三維坐標檢測；

移動平臺，包括平移面，用于使所述三維檢測裝置與所述置物臺沿平行于所述平移面的方向相對平移；

第一旋轉(zhuǎn)臺，用于使所述置物臺繞垂直于所述平移面的轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述置物臺與所述移動平臺固定連接；或者，所述三維檢測裝置與所述移動平臺固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述二維檢測裝置為遠心成像系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述三維檢測裝置為色散共聚焦測量裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量設(shè)備，其特征在于，還包括第二旋轉(zhuǎn)臺，用于使所述置物臺繞沿平行于所述平移面的轉(zhuǎn)軸相對于所述三維檢測裝置旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述第二旋轉(zhuǎn)臺與所述移動平臺固定連接，所述第一旋轉(zhuǎn)臺與所述第二旋轉(zhuǎn)臺固定連接，所述置物臺與所述第一旋轉(zhuǎn)臺固定連接；

或者，所述第二旋轉(zhuǎn)臺與所述三維檢測裝置固定連接，所述第二旋轉(zhuǎn)臺用于帶動所述第三檢測裝置旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述二維檢測裝置與所述三維檢測裝置的排列方向垂直于或平行于所述第二旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移動平臺包括第一平移臺和第二平移臺，所述第一平移臺用于帶動所述置物臺沿所述第一方向的正向和/或反向平移，所述第二平移臺用于帶動所述第一平移臺和所述置物臺沿所述第二方向的正向和/或反向平移；所述第一方向和所述第二方向垂直或具有銳角或鈍角夾角。

9.一種測量方法，其特征在于，基于權(quán)利要求1至8任意一項所述的測量設(shè)備進行，包括以下步驟：

S1、通過所述二維檢測裝置獲取待測物待測區(qū)的位置信息；

S2、所述第一旋轉(zhuǎn)臺和/或所述移動平臺根據(jù)所述位置信息調(diào)整所述待測物至相對于所述三維檢測裝置預(yù)設(shè)的相對位置處；

S3、通過所述三維檢測裝置獲取置于預(yù)設(shè)的相對位置處的待測物的三維坐標信息。

10.如權(quán)利要求9所述的一種測量方法，其特征在于，所述步驟S1包括以下步驟：

S11、利用所述二維檢測裝置獲取部分或全部待測物的輪廓圖像；

S12、根據(jù)所述輪廓圖像獲取所述待測物某一特征方向以及特征點位置。

11.如權(quán)利要求10所述的一種測量方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)的相對位置包括一預(yù)設(shè)特征方向以及預(yù)設(shè)特征點位置，所述第一旋轉(zhuǎn)臺根據(jù)所述特征方向與所述預(yù)設(shè)特征方向之間的夾角旋轉(zhuǎn)使特征方向與預(yù)設(shè)特征方向平行，所述移動平臺根據(jù)所述特征點位置與所述預(yù)設(shè)特征點位置之間的位置水平移動使所述特征點位置與所述預(yù)設(shè)特征點位置重合。

12.如權(quán)利要求10所述的一種測量方法，其特征在于，所述輪廓圖像包括一條或多條輪廓邊，所述特征方向包括輪廓邊的延伸方向；所述待測物包括頂角、凹陷或凸起，所述特征點位置為頂角、凹陷或凸起的像的位置。

13.如權(quán)利要求9所述的一種測量方法，其特征在于，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移動平臺包括第一平移臺和第二平移臺；所述三維檢測裝置包括用于對待測區(qū)進行檢測的掃描光斑；

當(dāng)所述待測區(qū)包括相互平行的第一邊、第二邊以及位于所述第一邊和第二邊之間的掃描區(qū)域時；調(diào)整所述待測物至相對于所述三維檢測裝置預(yù)設(shè)的相對位置處使所述第一邊平行于所述第一方向；所述三維檢測裝置獲取置于預(yù)設(shè)的相對位置處的待測物的三維坐標信息的步驟包括：使所述掃描光斑相對于所述掃描區(qū)域沿第一方向自第一邊一端運動至另一端；使所述掃描光斑相對于所述掃描區(qū)域沿第一方向自第一邊一端運動至另一端之后，使所述掃描光斑相對于所述掃描區(qū)域沿第二方向移動一特定步長，所述特定步長小于或等于第一邊和第二邊之間的間距；使掃描光斑相對于所述掃描區(qū)域沿第二方向移動一特定步長之后，使所述掃描光斑沿第一方向的反方向自掃描區(qū)一端移動至另一端；重復(fù)上述步驟直至掃描光斑到達第二邊；或者，當(dāng)所述待測區(qū)包括待測軌跡，所述待測軌跡為線段時；調(diào)整所述待測物至相對于所述三維檢測裝置預(yù)設(shè)的相對位置處使所述待測軌跡平行于第一方向；所述三維檢測裝置獲取置于預(yù)設(shè)的相對位置處的待測物的三維坐標信息的步驟包括：使所述掃描光斑相對于所述待測區(qū)沿第一方向自待測軌跡一端掃描至另一端。