[發明專利]一種半導體基板進料的自動搬運設備

有效

• 申請號: 201810941335.1
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN109065490B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 沈良霖
• 申請（專利權）人: 浙江雅市晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385
• 代理人: 董芙蓉

1.一種半導體基板進料的自動搬運設備，包括立柱(1)，其特征在于：所述立柱(1)一側設有橫桿(2)，所述橫桿(2)一側設有第一彈簧(3)，所述第一彈簧(3)一端與橫桿(2)固定連接，所述第一彈簧(3)另一端設有平衡板(4)，所述平衡板(4)一側設有固定塊(5)，所述固定塊(5)一側設有吸盤(6)，所述固定塊(5)一端橫截面形狀設置為半球形，所述吸盤(6)一側設有凹槽，所述凹槽與固定塊(5)一端相適配，所述吸盤(6)兩側均設有第二彈簧(7)，所述第二彈簧(7)一端與吸盤(6)固定連接，所述第二彈簧(7)另一端與平衡板(4)固定連接，所述吸盤(6)一側設有通氣管(8)，所述立柱(1)一側設有連接件(9)，所述連接件(9)一端與立柱(1)固定連接，所述連接件(9)另一端設有齒輪盤(10)，所述齒輪盤(10)一側設有步進電機(11)，所述步進電機(11)輸出端與齒輪盤(10)相適配，所述連接件(9)一側設有電動伸縮桿(12)，所述電動伸縮桿(12)一端與立柱(1)鉸接，所述電動伸縮桿(12)底端與連接件(9)鉸接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體基板進料的自動搬運設備，其特征在于：所述第一彈簧(3)內部設有伸縮套管(13)，所述伸縮套管(13)一端與橫桿(2)固定連接，所述伸縮套管(13)另一端與平衡板(4)固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種半導體基板進料的自動搬運設備，其特征在于：所述通氣管(8)一端連接有抽氣泵。

4.根據權利要求1所述的一種半導體基板進料的自動搬運設備，其特征在于：所述吸盤(6)表面設有密封墊(14)，所述密封墊(14)由橡膠材料制成。

5.根據權利要求1所述的一種半導體基板進料的自動搬運設備，其特征在于：所述橫桿(2)的數量設置為多個，多個所述橫桿(2)均勻排布在立柱(1)表面,所述吸盤(6)一側設有基板(15)。