[發明專利]一種管式真空反應爐

在審

• 申請號: 201810941107.4
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN110836604A
• 公開（公告）日: 2020-02-25
• 發明（設計）人: 李曄純;成秋云;羅志敏;張彌濤
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D1/00;F27D7/06;F27D99/00
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

本發明公開了一種管式真空反應爐，包括不銹鋼爐管、不銹鋼前法蘭盤、不銹鋼后法蘭盤、以及爐門，所述不銹鋼爐管前端與所述不銹鋼前法蘭盤焊接，不銹鋼爐管后端與所述不銹鋼后法蘭盤焊接，所述不銹鋼前法蘭盤中部開設有供反應物載具進出所述不銹鋼爐管的進料孔，所述爐門與所述不銹鋼前法蘭盤的前端面之間設有密封件，所述不銹鋼前法蘭盤的后端面焊接有進氣管，所述不銹鋼后法蘭盤的中部開設有抽氣孔并于抽氣孔處焊接有抽氣組件。本發明具有結構簡單、安裝方便、不易出現漏氣等優點。

技術領域

本發明涉及半導體加工設備技術領域，尤其涉及一種管式真空反應爐。

背景技術

目前在半導體等行業中，需要真空密封的管式設備普遍采用石英管作為工藝反應室，石英管兩端各設置一組密封法蘭，各組密封法蘭均配置一套密封爐門，密封法蘭和石英管之間采用徑向密封，密封法蘭和密封爐門之間采用端面密封，通過徑向和端面的兩級密封圈滿足密封要求。石英管真空反應室是通過密封法蘭將徑向密封圈與石英管壓合密封，對密封法蘭的加工精度、安裝技巧的要求非常高，例如：安裝壓合不到位可能造成漏氣，安裝壓合過緊可能將石英管壓裂，在安裝過程中操作不當可能造成密封法蘭和石英管之間發生磕碰，容易導致碰碎石英管口而發生漏氣。此外在使用過程中，裝有待反應物的載具需落在石英管內壁上，石英管長期承受其重力，可能造成管壁破裂而漏氣，導致使用過程中需要頻繁更換石英管，影響生產效率，也會增加維護成本。

發明內容

本發明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單、安裝方便、不易出現漏氣的管式真空反應爐。

為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案：

一種管式真空反應爐，包括不銹鋼爐管、不銹鋼前法蘭盤、不銹鋼后法蘭盤、以及爐門，所述不銹鋼爐管前端與所述不銹鋼前法蘭盤焊接，不銹鋼爐管后端與所述不銹鋼后法蘭盤焊接，所述不銹鋼前法蘭盤中部開設有供反應物載具進出所述不銹鋼爐管的進料孔，所述爐門與所述不銹鋼前法蘭盤的前端面之間設有密封件，所述不銹鋼前法蘭盤的后端面焊接有進氣管，所述不銹鋼后法蘭盤的中部開設有抽氣孔并于抽氣孔處焊接有抽氣組件。

作為上述技術方案的進一步改進：所述不銹鋼前法蘭盤的前端面開設有安裝凹槽，所述密封件嵌裝于所述安裝凹槽內。

作為上述技術方案的進一步改進：所述安裝凹槽為燕尾槽。

作為上述技術方案的進一步改進：所述密封件由氟橡膠制成。

作為上述技術方案的進一步改進：所述進氣管包括位于所述不銹鋼爐管內的第一進氣管和位于所述不銹鋼爐管外側的第二進氣管。

作為上述技術方案的進一步改進：所述抽氣組件包括不銹鋼真空管、不銹鋼真空法蘭以及真空泵，所述不銹鋼真空管一端與所述不銹鋼后法蘭盤焊接，另一端與所述不銹鋼真空法蘭焊接，所述真空泵與所述不銹鋼真空法蘭相連。

與現有技術相比，本發明的優點在于：本發明公開的管式真空反應爐，采用不銹鋼材質的爐管、前法蘭盤、后法蘭盤，各主要部件之間采用焊接連接，只需要將爐管位置固定即可完成安裝工作，在保證焊接質量的前提下，即可保證焊接位置的密封性能，工藝反應物及其載具可長時間放置在不銹鋼爐管的內壁上，不存在石英管壁開裂而需要頻繁更換的問題，即便運輸、安裝、調試和使用過程中發生輕微磕碰也不至于產生缺口、裂紋，不易出現漏氣，有利于保證反應爐的密封性能，同時制造成本也可大幅度降低至石英管反應爐的25％左右。

附圖說明

圖1是本發明管式真空反應爐的主視結構示意圖。

圖2是圖1中A處的放大圖。