[發明專利]一種減小激光聚焦光斑尺寸的方法及裝置有效
| 申請號： | 201810940490.1 | 申請日： | 2018-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN108983428B | 公開（公告）日： | 2020-07-28 |
| 發明（設計）人： | 張靜宇;高驥超;劉思垣 | 申請（專利權）人： | 華中科技大學 |
| 主分類號： | G02B27/16 | 分類號： | G02B27/16;G02B27/10;G02B27/09;G02B27/48 |
| 代理公司： | 華中科技大學專利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 減小 激光 聚焦 光斑 尺寸 方法 裝置 | ||
1.一種減小激光聚焦光斑尺寸的方法，其特征在于，包括：
(1)利用圓形光柵對入射激光束進行分光操作，使得入射激光束發生空間色散并形成具有同心圓結構的色散光束，且所述色散光束中不同波長的光分布在不同半徑的圓環上；
(2)將所述色散光束轉換為平行的環形光束；
(3)將所述環形光束轉換為徑向偏振光束；
(4)對所述徑向偏振光束進行聚焦，得到用于激光加工的聚焦光斑。
2.一種減小激光聚焦光斑尺寸的裝置，其特征在于，沿入射激光束的光路方向依次包括：分光單元、第一透鏡、徑向偏振單元以及第二透鏡；
所述分光單元用于對入射激光束進行分光操作，使得入射激光束發生空間色散并形成具有同心圓結構的色散光束，且所述色散光束中不同波長的光分布在不同半徑的圓環上；所述分光單元為圓形光柵；
所述第一透鏡用于將所述色散光束轉換為平行的環形光束；
所述徑向偏振單元用于將所述環形光束轉換為徑向偏振光束；
所述第二透鏡用于對所述徑向偏振光束進行聚焦，得到用于激光加工的聚焦光斑。
3.如權利要求2所述的減小激光聚焦光斑尺寸的裝置，其特征在于，所述第一透鏡為錐透鏡。
4.如權利要求2所述的減小激光聚焦光斑尺寸的裝置，其特征在于，當入射激光束為線偏振光時，所述徑向偏振單元包括多個半波片，且半波片的快軸方向隨空間變化。
5.如權利要求2所述的減小激光聚焦光斑尺寸的裝置，其特征在于，當入射激光束為圓偏振光時，所述徑向偏振單元包括多個四分之一波片，且四分之一波片的快軸方向隨空間變化。
6.如權利要求2所述的減小激光聚焦光斑尺寸的裝置，其特征在于，所述第二透鏡為數值孔徑高于預設的數值孔徑閾值的物鏡。
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