[發明專利]用于太陽電池制造的8腔體立式HWCVD-PVD一體化設備在審
| 申請號： | 201810938149.2 | 申請日： | 2018-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN110835726A | 公開（公告）日： | 2020-02-25 |
| 發明（設計）人： | 黃海賓;黃振;周浪;彭德香;任棟樑;劉超 | 申請（專利權）人： | 中智（泰興）電力科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/56;C23C16/24;C23C16/50;C23C16/54;H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 張斌 |
| 地址： | 225400 江蘇省泰州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 太陽電池 制造 立式 hwcvd pvd 一體化 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于太陽電池制造的8腔體立式HWCVD-PVD一體化設備，其特征在于：包括上料腔體、預加熱腔體、本征非晶硅薄膜沉積HWCVD腔體、摻雜非晶硅薄膜沉積HWCVD腔體、第一TCO薄膜沉積PVD腔體、第二TCO薄膜沉積PVD腔體、第三TCO薄膜沉積PVD腔體和下料腔體，上述各腔體之間通過真空鎖依次連接，上料腔體進料口和下料腔體出料口同樣設置真空鎖，一移動裝置由前至后穿接各腔體和真空鎖，本征非晶硅薄膜沉積HWCVD腔體、摻雜非晶硅薄膜沉積HWCVD腔體、第一TCO薄膜沉積PVD腔體、第二TCO薄膜沉積PVD腔體、第三TCO薄膜沉積PVD腔體均為立式結構，上料腔體內設立式載板，立式載板設置于移動裝置上呈在本一體化設備中由前至后可移動狀態，第二TCO薄膜沉積PVD腔體內設濺射靶，下料腔體外接氮氣系統和抽真空系統。
2.根據權利要求1所述的用于太陽電池制造的8腔體立式HWCVD-PVD一體化設備，其特征在于：所述移動裝置為推料進給軌道或移動軌道或移動掛架。
3.根據權利要求1所述的用于太陽電池制造的8腔體立式HWCVD-PVD一體化設備，其特征在于：上述各個腔體外接超純氣路系統和/或加熱系統和/或冷卻水系統和/或抽真空系統。
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