[發明專利]一種并行多區域成像裝置

有效

• 申請號: 201810937498.2
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN108802989B
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 呂曉華;曾紹群;胡慶磊;李培
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李智;曹葆青

1.一種并行多區域成像裝置，其特征在于，包括：多焦點生成模塊、空間解調模塊及探測模塊；

所述多焦點生成模塊，用于對照明光進行調制，以在物方產生多個焦點，形成多個不同的照明區域，進而通過待成像樣品產生多路信號光；

所述空間解調模塊，為帶孔反射鏡或數字微鏡器件或空間光調制器，用于使各路信號光在空間上的能量分布不再重疊或重疊區域小于目標要求；

所述探測模塊，用于對經所述空間解調模塊后的各路信號光進行獨立探測，以實現并行多區域成像；

其中，所述物方產生的多個焦點位于多焦點生成模塊光軸方向上的不同位置。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，在所述多焦點生成模塊和所述空間解調模塊之間，所述裝置還包括分光器；

所述分光器，用于將照明光和由待成像樣品返回的信號光在空間上分離，以使所述多焦點生成模塊輸出的照明光傳播至所述待成像樣品，同時使自所述待成像樣品返回的信號光傳播至所述空間解調模塊。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述分光器的分光方法包括按照波長分離、按照偏振態分離、按照空間位置分離及衰減式分離。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，在所述分光器之后，所述裝置還包括掃描模塊；

所述掃描模塊，用于改變光束的傳播方向、發散程度或匯聚程度，使得物鏡物方的焦點或一維聚焦的線在空間中改變位置，從而進行掃描。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述掃描模塊中的掃描器件包括反射式、透射式或衍射式。

6.根據權利要求4或5所述的裝置，其特征在于，在所述掃描模塊之后，所述裝置還包括：中繼光路；

所述中繼光路，用于實現所述掃描模塊與物鏡的光瞳匹配，以在所述掃描模塊的目標掃描范圍內使得照明光均能進入到所述物鏡中從而照明到所述待成像樣品上。