[發(fā)明專利]一種雙柵控制式冷陰極電子槍及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810935160.3
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN109065428B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁學(xué)松;陳青云;鄢揚;王彬;李海龍;蒙林
• 申請（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號: H01J23/06
• 分類號: H01J23/06;H01J3/02;H01J19/24
• 代理公司: 成都頂峰專利事務(wù)所(普通合伙) 51224
• 代理人: 何紅信

1.一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：包括電子槍絕緣外殼、環(huán)形電極片(2)、陰極底座(3)、陰極襯底(4)、管型絕緣連接體(5)、陰極柵網(wǎng)(6)、外置柵網(wǎng)(7)和管型聚束極(8)，其中，所述電子槍絕緣外殼的內(nèi)部為真空且由下套筒(101)和上套筒(102)組成，所述環(huán)形電極片(2)設(shè)置在所述下套筒(101)與所述上套筒(102)之間，所述陰極底座(3)呈二級臺階柱體結(jié)構(gòu)且密封所述下套筒(101)的下端口，所述陰極襯底(4)呈柱體結(jié)構(gòu)且在上表面設(shè)有冷陰極材料層(401)，陰極襯底(4)用于提供具有平面結(jié)構(gòu)的電子發(fā)射面，所述冷陰極材料層(401)用于提供冷陰極表面，所述管型絕緣連接體(5)的內(nèi)部空腔呈二級臺階柱體結(jié)構(gòu)；

所述陰極柵網(wǎng)(6)和所述外置柵網(wǎng)(7)的中部區(qū)域分別開有若干柵孔，其中，所述陰極柵網(wǎng)(6)的環(huán)形邊緣區(qū)域連接所述管型絕緣連接體(5)的內(nèi)臺階面，所述外置柵網(wǎng)(7)的環(huán)形邊緣區(qū)域連接所述管型絕緣連接體(5)的上端面，形成一個雙柵結(jié)構(gòu)；

所述陰極襯底(4)、所述雙柵結(jié)構(gòu)和所述管型聚束極(8)分別位于所述電子槍絕緣外殼的內(nèi)部，其中，所述陰極襯底(4)安裝在所述陰極底座(3 )的頂部，所述管型絕緣連接體(5)的下端口固定套在所述陰極襯底(4)的上部外周，所述管型聚束極(8)固定安裝在所述外置柵網(wǎng)(7)的上表面，所述外置柵網(wǎng)(7)的環(huán)形邊緣區(qū)域連接所述環(huán)形電極片(2)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：還包括密封所述上套筒(102)的上端口的應(yīng)用器件。

3.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：還包括線圈磁場發(fā)生器(10)，其中，所述電子槍絕緣外殼位于所述線圈磁場發(fā)生器(10)的磁場中且與所述線圈磁場發(fā)生器(10)同軸設(shè)置。

4.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：所述陰極襯底(4)、所述管型絕緣連接體(5)、所述陰極柵網(wǎng)(6)、所述外置柵網(wǎng)(7)和所述管型聚束極(8)同軸設(shè)置。

5.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：所述陰極柵網(wǎng)(6)的柵孔與所述外置柵網(wǎng)(7)的柵孔在形狀方面完全相同，并使所述陰極柵網(wǎng)(6)的柵孔與所述外置柵網(wǎng)(7)的柵孔一一對應(yīng)且中心對齊。

6.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：所述陰極襯底(4)通過螺紋配合結(jié)構(gòu)固定安裝在所述陰極底座(3)的頂部。

7.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：所述管型聚束極(8)的內(nèi)空腔上部呈柱體結(jié)構(gòu)，所述管型聚束極(8)的內(nèi)空腔下部呈倒錐臺體。

8.如權(quán)利要求1所述的一種雙柵控制式冷陰極電子槍，其特征在于：所述冷陰極材料層(401)為石墨烯層、金剛石薄膜層、類金剛石薄膜層、碳納米管層、氧化銅納米線層、氧化鋅納米線層或氧化物納米線層。