[發(fā)明專利]一種常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置與方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810933231.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN109065433A
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石建軍;邱慎杰;韓乾翰;郭穎;張菁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東華大學(xué)
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩;王文穎

1.一種常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，為一種等離子體放電反應(yīng)器，其包括放電腔體(1)，放電腔體(1)內(nèi)填充有放電氣體；放電腔體(1)頂部設(shè)有進(jìn)氣口(2)，放電腔體(1)內(nèi)設(shè)有與高壓電源連接的上電極(3)及與射頻電源連接的下電極(4)，上電極(3)與下電極(4)之間設(shè)有一對(duì)上下分布的介質(zhì)板(5)，上方的介質(zhì)板(5)與上電極(3)連接，下方的介質(zhì)板(5)與下電極(4)連接。

2.如權(quán)利要求1所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，所述上電極(3)、下電極(4)為直徑20mm的金屬圓柱電極。

3.如權(quán)利要求1所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，所述介質(zhì)板(5)的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷片或石英玻璃片，其尺寸為400mm×400mm×1mm，介電常數(shù)為9.0。

4.如權(quán)利要求1所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，兩片所述介質(zhì)板(5)之間的距離為1-5mm。

5.如權(quán)利要求4所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，兩片所述介質(zhì)板(5)之間的距離為2.5mm。

6.如權(quán)利要求1所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，所述放電氣體為氦氣、氧氣、氮?dú)庵械娜我庖环N或幾種的混合氣體，放電氣體流量為1.5-2.5SLM。

7.如權(quán)利要求6所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，所述放電氣體流量為2SLM。

8.如權(quán)利要求1所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，其特征在于，所述等離子體放電反應(yīng)器為介質(zhì)阻擋放電等離子體反應(yīng)器。

9.一種常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的裝置，將放電氣體從進(jìn)氣口(2)通入到放電腔體(1)中，先將上電極(3)上接脈沖電源形成脈沖放電；在脈沖放電結(jié)束后，再將下電極(4)上通經(jīng)過脈沖調(diào)制的射頻交流電使介質(zhì)板(5)之間產(chǎn)生射頻放電。

10.如權(quán)利要求9所述的常壓脈沖輔助平板射頻輝光放電的方法，其特征在于，所述脈沖放電的頻率為100-50kHz，功率為10-1000W；脈沖調(diào)制的頻率為100-50kHz；射頻交流電的頻率為2-13.56MHz，功率為5-1000W。