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[發明專利]用于片上矯正的紅外測試系統及其測試方法在審

專利信息
申請號: 201810933030.6 申請日: 2018-08-16
公開(公告)號: CN108896190A 公開(公告)日: 2018-11-27
發明(設計)人: 劉子驥;郭澤宇;徐燦明;張銘;石錦濤;王濤 申請(專利權)人: 電子科技大學
主分類號: G01J5/00 分類號: G01J5/00
代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232 代理人: 敖歡;葛啟函
地址: 611731 四川省成*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 矯正 紅外探測器 系統控制 接口電路板 模塊化儀器 紅外測試 矩陣開關模塊 數據采集模塊 數據發送模塊 計算機模塊 測試 測量模塊 電壓信號 電源模塊 控制模塊 配置數據 數據分析 數字時序 效果反饋 遠程控制 自動獲取 矯正片 容錯率 校準 半成品 追蹤 驅動
【說明書】:

發明提供一種用于片上矯正的紅外測試系統及測試方法,包括模塊化儀器部分、系統控制部分和紅外探測器接口電路板部分;模塊化儀器部分包括遠程控制某塊、數字時序模塊、數據發送模塊、測量模塊、矩陣開關模塊、數據采集模塊;系統控制部分包括計算機模塊和電源模塊;系統控制部分用于控制模塊化儀器部分和為紅外探測器接口電路板部分提供電壓信號;本發明能夠驅動多種成品及半成品紅外探測器,能夠實現自動獲取和矯正片上矯正配置數據校準,有利于追蹤片上矯正過程的數據,確保片上矯正過程的準確性;高效的完成片上矯正過程,能夠通過片上矯正后的數據分析來完成片上矯正效果反饋,提高系統的容錯率。

技術領域

本發明涉及紅外探測器技術領域,特別涉及到一種用于片上矯正的紅外測試系統及測試方法。

背景技術

紅外探測器一般分為制冷型和非制冷型,能夠對接收到的熱輻射量做出反應并且轉換為電信號進行輸出,廣泛的應用于工業,軍事,醫療,安防及科學研究等多個領域。為保證探測器輸出圖像的效果,紅外探測器一般會集成有片上矯正功能。

片上矯正是在像元對應的原始圖像信號輸出之前,對探測器的每個像元施加不同的偏置信號來降低陣列非均勻性的方法,與對探測器輸出信號進行后處理的常用的非均勻性校正方法如兩點法,多點法,人工神經網絡法相比,實時性更高,并且矯正效果明顯。近年來國內各廠商新推出的較大面陣的探測器也開始集成有片上矯正的功能。

現在的紅外探測器測試系統大多數沒有片上矯正測試功能,為適應今后探測器的片上矯正功能的增加,需要一套穩定可靠的測試系統及與其適配的測試方法。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點,本發明的目的在于提供一種穩定可靠的用于片上矯正的紅外測試系統及測試方法。

為實現上述發明目的,本發明技術方案如下:

一種用于片上矯正的紅外測試系統,包括模塊化儀器部分、系統控制部分和紅外探測器接口電路板部分;模塊化儀器部分和系統控制部分的計算機模塊連接;

模塊化儀器部分包括遠程控制某塊、數字時序模塊、數據發送模塊、測量模塊、矩陣開關模塊、和數據采集模塊;數字時序模塊用于提供周期性時序信號,測量模塊和矩陣開關模塊配合來完成探測器片上矯正的前期數據采集及矯正,數據發送模塊完成探測器片上矯正過程的矯正數據發送;數據采集模塊用于采集紅外探測器的輸出電壓數據,電壓數據包括片上矯正過程中的反饋數據和片上矯正后的探測器輸出電壓數據;

系統控制部分包括計算機模塊和電源模塊;系統控制部分用于控制模塊化儀器部分和為紅外探測器接口電路板部分提供電壓信號;

紅外探測器接口電路板部分為能夠承載紅外探測器的定制接口電路板,用于接收探測器的驅動信號,片上矯正數據信號和發送探測器輸出電壓數據。

作為優選方式,紅外探測器接口電路板適配半成品紅外探測器或封裝過后的成品紅外探測器,其中,適配半成品紅外探測器時選擇尺寸匹配的探針臺來完成晶圓級別的測試。

作為優選方式,系統控制部分的電源模塊選用源測量單元SMU,SMU用于提供測量分辨率小于1mV的電壓源,以及提供測量分辨率低于1uA的電流源;SMU提供遠端檢測功能并擁有集成了雙極型電壓和吸收功率能力的四象限輸出功能;SMU提供線性掃描電壓和掃描電流,能夠獲得儀器的IV特性曲線,用于對系統電壓信號和偏壓信號的精確控制和實時監測。

作為優選方式,測量模塊選用高精度數字萬用表,配合矩陣開關,在上位機軟件端控制開關選通情況,滿足自動測試需求。

作為優選方式,模塊化儀器部分中的數字時序模塊用于提供的周期性時序信號包括:復位信號,主頻信號,行積分信號。

作為優選方式,測量模塊和矩陣開關模塊配合來完成探測器片上矯正的前期數據采集及矯正,矯正包括矩陣區域電阻矯正、偏壓矯正。

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