[發明專利]一種薄膜鋰電池的制備方法在審
| 申請號： | 201810930459.X | 申請日： | 2018-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN110838597A | 公開（公告）日： | 2020-02-25 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 廣州市思創信息技術有限公司 |
| 主分類號： | H01M10/058 | 分類號： | H01M10/058;H01M10/0525;C23C14/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 511300 廣東省廣州市增城區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 鋰電池 制備 方法 | ||
1.一種薄膜鋰電池的制備方法，其特征在于，該制備方法包括以下步驟：
步驟一：采用 Al2O3單晶襯底為薄膜鋰電池的基底，將基底輸送至Au集電器腔中，采用DC磁控濺射將弱取向的多晶Au膜進行沉積；
步驟二：將沉積的Au膜轉移到脈沖激光沉積系統中，采用紅外激光加熱，并在真空環境下退火，退火的Au膜呈現111晶格位相；
步驟三：在脈沖激光沉積系統中，沉積LCO膜作為陰極，采用Li1.2CoO2的燒結陶瓷靶材來補償沉積期間Li的損失；
步驟四：輸送至射頻磁控濺射沉積系統中，在室溫下采用RF磁控濺射沉積的LiPON固體電解質層，用于覆蓋LCO膜；
步驟五：采用常規蒸發方法將用于陽極的金屬Li膜沉積在LiPON層上。
2.根據權利要求1所述的薄膜鋰電池的制備方法，其特征在于，在所述步驟一中，所述Al2O3單晶襯底的晶格位相為0001。
3.根據權利要求1所述的薄膜鋰電池的制備方法，其特征在于，在所述步驟二中，退火溫度為600℃，退火時間為10分鐘。
4.根據權利要求1所述的薄膜鋰電池的制備方法，其特征在于，在所述步驟三中，基板保持在400℃，氧分壓為0.13Pa，在靶上以5Hz的重復頻率照射KrF準分子激光，波長為248nm，能量密度為1.0J cm-2。
5.根據權利要求1所述的薄膜鋰電池的制備方法，其特征在于，在所述步驟四中，采用2英寸Li3 PO4靶，沉積環境為0.5Pa N 2氣，RF磁控濺射的功率為100W；靶與基板之間的垂直距離為55mm，水平距離為45mm。
6.一種采用如權利要求1所述薄膜鋰電池的制備方法制備的薄膜鋰電池，其特征在于，該薄膜鋰電池Li，LiPON，LCO和Au層的厚度分別為500～550，800～1000，100～200和150～250nm。
7.一種用于實施權利要求1所述的薄膜鋰電池的制備方法的鋰電池真空薄膜沉積系統，其特征在于：該系統包括脈沖激光沉積系統，射頻磁控濺射沉積系統，Au集電器，Li金屬熱蒸發系統及傳輸系統；上述四個系統與線性樣品傳輸系統相連接，樣品基板固定到與樣品基板兼容的襯底支架上，將襯底支架放在掩模支架上。
8.根據權利要求7所述的鋰電池真空薄膜沉積系統，其特征在于，鋰電池真空薄膜沉積系統還包括X射線光電子能譜檢測裝置，多個探針及裝載工位。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣州市思創信息技術有限公司，未經廣州市思創信息技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810930459.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
