[發明專利]一種蒸鍍掩膜板與玻璃的貼合間隙確定方法、裝置及設備

有效

• 申請號: 201810930390.0
• 申請日: 2018-08-15
• 公開（公告）號: CN108950476B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 戚海平
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/54;C23C14/24;C03C17/00
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

本申請公開了一種蒸鍍掩膜板與玻璃的貼合間隙確定方法、裝置及設備，涉及顯示技術，在蒸鍍掩膜板與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面的各個部位與玻璃表面的第一間隙；在蒸鍍掩膜板的平坦局部與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面與玻璃同一表面的第二間隙；確定蒸鍍掩膜板各個部位與玻璃的貼合間隙為所述第一間隙減去所述第二間隙的差值。確定了蒸鍍掩膜板各個部位與玻璃的貼合間隙后，即可根據該貼合間隙在生產過程中在產品蒸鍍前可以根據Gap(間隙)分析結果提前判定產品不良類型及比率，從而大幅降低蒸鍍成本并提高不良改善效率。

技術領域

本公開一般涉及顯示技術，尤其涉及蒸鍍掩膜板與玻璃的貼合間隙確定方法、裝置及設備。

背景技術

平板顯示包括LCD顯示，OLED顯示、PDP顯示、電子墨水顯示等多種，其中，OLED顯示具有輕薄，低功耗，高對比度，高色域，可以實現柔性顯示等優點，是下一代顯示器的發展趨勢。OLED顯示的實現方式為LTPS背板+精細金屬掩膜(FMM Mask)，現在LTPS背板+FMM Mask的方式已經初步成熟，實現了量產。

精細金屬掩膜(FMM Mask)模式，是通過蒸鍍方式將OLED材料按照預定程序蒸鍍到LTPS背板上，利用FMM上的圖形，形成紅綠藍器件。現在應用于AMOLED的金屬蒸鍍掩膜板，由于玻璃下垂量遠大于FMM下垂量，且玻璃的下沉形態與FMM下沉形態不同，蒸鍍過程中當玻璃與Mask貼合時不可避免的發生FMM有效區與玻璃間的間隙過大以及因FMM褶皺在壓合過程未舒展導致的間隙等問題；因FMM與玻璃貼合Gap異常而導致的不良主要為蒸鍍Shadow增加形成的像素混疊，也會產生混色，這是目前OLED蒸鍍工藝中最主要的不良同時也是最難解決的工藝問題。

目前，由于蒸鍍工藝限制還無法獲得FMM與玻璃貼合時的間隙及形態，只能依靠蒸鍍后產品相關不良狀況去猜想FMM與玻璃貼合間隙的狀況，然而這不僅限制了在對蒸鍍工藝變更時的準確分析依據，而且也會大大降低對相關不良改善的效率，降低產品良率，增加生產成本。

發明內容

鑒于現有技術中的上述缺陷或不足，期望提供一種蒸鍍掩膜板與玻璃的貼合間隙確定方法、裝置及設備，以實現蒸鍍掩膜板與玻璃的貼合間隙的確定。

第一方面，本發明實施例提供一種蒸鍍掩膜板與玻璃的貼合間隙確定方法，包括：

在蒸鍍掩膜板與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面的各個部位與玻璃表面的第一間隙；

在蒸鍍掩膜板的平坦局部與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面與玻璃同一表面的第二間隙；

確定蒸鍍掩膜板各個部位與玻璃的貼合間隙為所述第一間隙減去所述第二間隙的差值。

進一步，所述玻璃為具有透明圖案的玻璃。

更進一步，所述透明圖案通過鉬制作的圖案。

更進一步，所述玻璃上的透明圖案均勻設置，每個圖案大小為10μm～25μm，相鄰圖案間距為20μm～30μm。

進一步，所述玻璃表面為玻璃的上表面或者玻璃的下表面。

進一步，所述在蒸鍍掩膜板與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面的各個部位與玻璃表面的第一間隙，包括：

在蒸鍍掩膜板與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面的各個部位相對參考平面的絕對高度以及玻璃表面相應部位相對參考平面的絕對高度；

確定蒸鍍掩膜板各個部位與玻璃表面的第一間隙為，蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面的各個部位相對參考平面的絕對高度與玻璃表面相應部位相對參考平面的絕對高度的差值；

所述在蒸鍍掩膜板的平坦局部與玻璃貼合后，確定蒸鍍掩膜板貼近玻璃的表面與玻璃同一表面的第二間隙，包括：