[發明專利]基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達有效
| 申請號： | 201810927949.4 | 申請日： | 2018-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN108983197B | 公開（公告）日： | 2020-01-24 |
| 發明（設計）人： | 張石;李亞鋒;魯佶 | 申請（專利權）人： | 深圳煜煒光學科技有限公司 |
| 主分類號： | G01S7/481 | 分類號： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 44372 深圳市六加知識產權代理有限公司 | 代理人： | 向彬 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區桃源*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光雷達 微鏡單元 準直光學元件 發射激光器 三維掃描 探測激光 探測目標 探測器 激光雷達技術 遠距離探測 尺寸光斑 二維陣列 三維方向 信號接收 信號通過 二維 反射 替換 發射 應用 | ||
1.一種基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：包括發射激光器、準直光學元件、MEMS微鏡陣列及探測器；
所述發射激光器發出的探測激光信號通過所述準直光學元件準直至所述MEMS微鏡陣列，經所述MEMS微鏡陣列發射至探測目標；
探測目標反射的探測激光信號接收至所述探測器；
所述MEMS微鏡陣列包括多個小微鏡單元，多個小微鏡單元呈二維陣列布置，所有小微鏡單元均可在三維方向旋轉，每個小微鏡單元可以獨立控制通過不同的電機完成每個小微鏡單元的獨立控制,不同的小微鏡單元可以設置成不同步掃描，每個小微鏡單元均可以實現大角度旋轉。
2.根據權利要求1所述的基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：所述發射激光器為半導體激光器、光纖激光器或固體激光器。
3.根據權利要求2所述的基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：還包括多個靜電驅動式或加熱驅動式微電機，通過靜電驅動式或加熱驅動式微電機驅動對應的小微鏡單元在三維方向旋轉。
4.根據權利要求3所述的基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：所述發射激光器替換為發射激光器陣列。
5.根據權利要求1所述的基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：所述探測器為單點探測器或二維陣列探測器。
6.根據權利要求5所述的基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：探測目標反射的探測激光信號通過接收透鏡接收至所述探測器，所述接收透鏡為非球面透鏡。
7.根據權利要求1-6任一項權利要求所述的基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達，其特征在于：所述準直光學元件為非球面透鏡。
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