[發明專利]一種基于公自轉裝載托盤的連續鍍膜生產線

有效

• 申請號: 201810914521.6
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN108677160B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 朱選敏;郭愛云
• 申請（專利權）人: 武漢科瑞達真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 武漢藍寶石專利代理事務所(特殊普通合伙) 42242
• 代理人: 嚴超

1.一種基于公自轉裝載托盤的連續鍍膜生產線，其特征在于：包括公自轉托盤(1)、入料模塊(2)、真空隔離閥模塊(3)、進片真空工藝模塊(4)、鍍膜真空工藝模塊(5)、出片真空工藝模塊(6)、出料模塊(7)，所述進片真空工藝模塊(4)的一端安裝有真空隔離閥模塊(3)，所述進片真空工藝模塊(4)的另一端通過真空隔離閥模塊(3)與鍍膜真空工藝模塊(5)的一端隔離，所述鍍膜真空工藝模塊(5)的另一端通過真空隔離閥模塊(3)與出片真空工藝模塊(6)的一端隔離，所述出片真空工藝模塊(6)的另一端安裝有真空隔離閥模塊(3)；所述公自轉托盤(1)由安裝托板(1-1)、絕緣座(1-2)、傳送導桿(1-3)、承載軸承(1-4)、公轉齒輪盤(1-5)、限位軸承(1-6)、自轉齒輪(1-7)、自轉轉軸(1-8)、掛載桿(1-9)、支撐桿(1-10)和固定鎖緊盤(1-11)組成，所述傳送導桿(1-3)的一端穿過絕緣座(1-2)安裝在安裝托盤(1-1)上，所述公轉齒輪盤(1-5)通過限位軸承(1-6)限定在安裝托盤(1-1)上，所述自轉轉軸(1-8)安裝在公轉齒輪盤(1-5)上，所述承載軸承(1-4)安裝在安裝托板(1-1)上，所述承載軸承(1-4)支撐公轉齒輪盤(1-5)，所述掛載桿(1-9)的下端與自轉轉軸(1-8)連接，所述自轉轉軸(1-8)安裝在在工作齒輪盤(1-5)上，所述自轉齒輪(1-7)與安裝托盤(1-1)的內齒嚙合，所述掛載桿(1-9)的上端通過軸承緊固在固定鎖緊盤(1-11)上；所述固定鎖緊盤(1-11)由支撐桿(1-10)支撐；所述進片真空工藝模塊(4)由進片真空腔體(4-1)、加熱預處理裝置(4-2)、傳送磁流體(4-3)、傳動同步軸(4-4)、公自轉公里導入磁流體(4-5)、傳送限位(4-6)、同步導輪(4-7)、工藝安裝門(4-8)、偏壓工藝航空接頭(4-9)、精抽插板閥(4-10)、精抽分子泵(4-11)、精抽前級閥(4-12)、精抽前級管道(4-13)、粗抽擋板閥(4-14)、粗抽羅茨泵(4-15)、粗抽管道(4-16)、粗抽機械泵(4-17)和精抽前級泵(4-18)組成，所述進片真空腔體(4-1)頂部安裝有加熱預處理裝置(4-2)，所述進片真空腔體(4-1)下部安裝有傳送磁流體(4-3)，所述傳送磁流體(4-3)與同步導輪(4-7)連接，所述進片真空腔體(4-1)下端設有精抽分子泵(4-11)，所述精抽分子泵(4-11)的上端設有精抽插板閥(4-10)，所述精抽分子泵(4-11)的下端設有精抽前級閥(4-12)，所述精抽前級閥(4-12)通過精抽前級管道(4-13)與精抽前級泵(4-18)連通，所述精抽前級泵(4-18)的上端安裝有粗抽機械泵(4-17)，所述粗抽機械泵(4-17)與粗抽羅茨泵(4-15)連接，所述粗抽羅茨泵(4-15)的頂部設有粗抽擋板閥(4-14)所述粗抽擋板閥(4-14)通過粗抽管道(4-16)與真空腔體(4-1)連接，所述公自轉公里導入磁流體(4-5)包含公自轉動力導入磁流體(4-5-1)、磁流體動力引入軸(4-5-2)、動力齒輪軸承座(4-5-3)、動力齒輪軸(4-5-4)、動力齒輪(4-5-5)，所述公自轉動力導入磁流體(4-5-1)上裝有磁流體動力引入軸(4-5-2)，所述動力齒輪軸(4-5-4)通過軸承緊固于動力齒輪軸承座(4-5-3)上，所述動力齒輪(4-5-5)為高溫棘齒單向齒輪，且通過鍵槽緊固于動力齒輪軸(4-5-4)上；所述鍍膜真空工藝模塊(5)由鍍膜工藝真空腔體(5-1)、外置線性源(5-2)、同步導輪(5-3)、傳送磁流體(5-4)、傳送同步軸(5-5)、公自轉公里導入磁流體(5-6)、鍍膜工藝安裝門(5-7)、分子泵(5-8)、前級擋板閥(5-9)、前級抽氣管道(5-10)、前級閥(5-11)和前級泵(5-12)組成，所述前級泵(5-12)上安裝有前級閥(5-11)，所述前級閥(5-11)通過前級抽氣管道(5-10)與分子分子泵(5-8)連接，所述分子泵(5-8)上安裝有前級擋板閥(5-9)，所述連接分子泵(5-8)與鍍膜工藝真空腔體(5-1)連接，所述鍍膜工藝真空腔體(5-1)的底端設置有傳送同步軸(5-5)，所述鍍膜工藝真空腔體(5-1)內部設置有傳送磁流體(5-4)，所述傳送磁流體(5-4)與同步導輪(5-3)連接，所述公自轉公里導入磁流體(5-6)安裝在鍍膜工藝真空腔體(5-1)內部，所述公自轉公里導入磁流體(5-6)由公自轉動力導入磁流體(5-6-1)、磁流體動力引入軸(5-6-2)、動力齒輪軸承座(5-6-3)、動力齒輪軸(5-6-4)、動力齒輪軸(5-6-4)上和動力齒輪(5-6-5)組成，所述公自轉動力導入磁流體(5-6-1)上安裝磁流體動力引入軸(5-6-2)，所述動力齒輪軸(5-6-4)通過軸承緊固于動力齒輪軸承座(5-6-3)上，所述動力齒輪(5-6-5)通過鍵槽緊固于動力齒輪軸(5-6-4)上，所述動力齒輪(5-6-5)的與公轉齒輪盤(1-5)嚙合； 所述鍍膜工藝真空腔體(5-1)上安裝有外置線性源(5-2)和鍍膜工藝安裝門(5-7)；所述出片真空工藝模塊(6)與進片真空工藝模塊(4)結構相同，當所述入料模塊(2)上的公自轉托盤(1)送入所述進片真空腔體(4-1)后，所述公轉齒輪盤(1-5)與所述動力齒輪(4-5-5)相嚙合，當所述入料模塊(2)上的公自轉托盤(1)送入所述鍍膜工藝真空腔體(5-1)后，所述公轉齒輪盤(1-5)與所述動力齒輪(5-6-5)相嚙合。