[發(fā)明專利]膜形成裝置及膜形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810914191.0
• 申請(qǐng)日: 2018-08-13
• 公開（公告）號(hào): CN109927413B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 礒圭二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/01
• 分類號(hào): B41J2/01;B41J3/407;B41M5/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發(fā)明提供一種能夠利用噴墨印刷技術(shù)來減少膜的直線狀邊緣的歪曲的膜形成裝置。基于涂布對(duì)象區(qū)域的圖案，一邊使涂布對(duì)象物和油墨吐出裝置中的一方相對(duì)于另一方沿第1方向移動(dòng)，一邊使油墨吐出裝置吐出油墨，從而對(duì)涂布對(duì)象區(qū)域的與第1方向平行的邊緣涂布油墨。一邊使涂布對(duì)象物和油墨吐出裝置中的一方相對(duì)于另一方沿第2方向移動(dòng)，一邊使油墨吐出裝置吐出油墨，從而對(duì)涂布對(duì)象區(qū)域的與第2方向平行的邊緣涂布油墨。

本申請(qǐng)主張基于2017年12月15日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)第2017-240421號(hào)的優(yōu)先權(quán)。該日本申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過參考援用于本說明書中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種膜形成裝置及膜形成方法。

背景技術(shù)

在用于觸控面板的透明導(dǎo)電膜的圖案化的抗蝕劑圖案的形成中利用光刻蝕法技術(shù)或網(wǎng)版印刷技術(shù)。在利用光刻蝕法技術(shù)的方法中，雖然能夠形成高精細(xì)的圖案，但是裝置成本、廢液處理成本等會(huì)增加。在利用網(wǎng)版印刷技術(shù)的方法中，雖然在裝置成本、廢液處理成本的方面比利用光刻蝕法技術(shù)的方法有利，但是難以形成高精細(xì)的圖案。對(duì)此，提出了利用噴墨印刷技術(shù)來形成高精細(xì)的抗蝕劑圖案的技術(shù)(專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5797277號(hào)公報(bào)

期待對(duì)透明導(dǎo)電膜等進(jìn)行蝕刻時(shí)高精細(xì)地形成用作蝕刻掩模的膜的技術(shù)。尤其，在使用噴墨印刷技術(shù)來形成具有直線狀邊緣的膜時(shí)，存在邊緣從直線發(fā)生歪曲的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠利用噴墨印刷技術(shù)來減少膜的直線狀邊緣的歪曲的膜形成裝置及膜形成方法。

根據(jù)本發(fā)明的一種觀點(diǎn)，提供一種膜形成裝置，其具有：

存儲(chǔ)裝置，其存儲(chǔ)包含與第1方向平行的邊緣及與交叉于所述第1方向的第2方向平行的邊緣的涂布對(duì)象區(qū)域的圖案；

支承部，其支承涂布對(duì)象物；

油墨吐出裝置，其朝向支承于所述支承部的涂布對(duì)象物的表面吐出油墨；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其具有使支承于所述支承部的涂布對(duì)象物和所述油墨吐出裝置中的一方相對(duì)于另一方沿著固定在涂布對(duì)象物的表面的兩個(gè)方向移動(dòng)的功能；及

控制裝置，其控制所述油墨吐出裝置及所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，

所述控制裝置具有執(zhí)行第1控制和第2控制的功能，

在所述第1控制中，基于存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)裝置的所述涂布對(duì)象區(qū)域的圖案，一邊使支承于所述支承部的涂布對(duì)象物和所述油墨吐出裝置中的一方相對(duì)于另一方沿所述第1方向移動(dòng)，一邊使所述油墨吐出裝置吐出油墨，從而對(duì)所述涂布對(duì)象區(qū)域的與所述第1方向平行的邊緣涂布油墨，

在所述第2控制中，一邊使支承于所述支承部的涂布對(duì)象物和所述油墨吐出裝置中的一方相對(duì)于另一方沿所述第2方向移動(dòng)，一邊使所述油墨吐出裝置吐出油墨，從而對(duì)所述涂布對(duì)象區(qū)域的與所述第2方向平行的邊緣涂布油墨。

根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種膜形成裝置，其具有：

存儲(chǔ)裝置，其存儲(chǔ)包含與第1方向平行的邊緣及與交叉于所述第1方向的第2方向平行的邊緣的涂布對(duì)象區(qū)域的圖案；

支承部，其支承涂布對(duì)象物；

油墨吐出裝置，其具有朝向支承于所述支承部的涂布對(duì)象物的表面吐出油墨的多個(gè)噴嘴孔；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其具有使支承于所述支承部的涂布對(duì)象物和所述油墨吐出裝置中的一方相對(duì)于另一方沿與涂布對(duì)象物的表面平行的方向移動(dòng)的功能；及

控制裝置，其控制所述油墨吐出裝置及所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，