[發(fā)明專(zhuān)利]預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置及硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810911933.4
• 申請(qǐng)日: 2018-08-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110828359B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王剛;付紅艷;宋海軍;黃棟梁
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/68
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/68;H01L21/67;G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，包括：預(yù)對(duì)準(zhǔn)光機(jī)單元、水平位置補(bǔ)償單元、垂向運(yùn)動(dòng)單元、交接承載單元、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)單元以及旋轉(zhuǎn)承載單元，其中，

所述交接承載單元用于在所述垂向運(yùn)動(dòng)單元的升降作用下與所述旋轉(zhuǎn)承載單元之間交接硅片，所述水平位置補(bǔ)償單元用于水平移動(dòng)所述交接承載單元，以實(shí)現(xiàn)硅片的中心相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)承載單元的空心承載盤(pán)的旋轉(zhuǎn)中心的偏心量的補(bǔ)償；

所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)單元和所述旋轉(zhuǎn)承載單元自下而上設(shè)置，所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)單元用于帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)承載單元旋轉(zhuǎn)，以實(shí)現(xiàn)硅片旋轉(zhuǎn)和角度偏差補(bǔ)償；所述旋轉(zhuǎn)承載單元包括用于承載所述硅片的空心承載盤(pán)以及用于吸附所述硅片的吸附組件，所述空心承載盤(pán)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)單元上并在所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)單元帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，所述空心承載盤(pán)具有用于承載所述硅片的承載區(qū)以及用于安置所述交接承載單元的空心區(qū)，所述交接承載單元在所述垂向運(yùn)動(dòng)單元的升降作用下在所述空心區(qū)中穿梭，所述吸附組件包括吸盤(pán)和吸附孔，所述吸盤(pán)設(shè)置在所述承載區(qū)上，所述吸附孔至少設(shè)置在所述吸盤(pán)所圍的承載區(qū)中，并與所述吸盤(pán)連通；

所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)光機(jī)單元具有用于探測(cè)所述旋轉(zhuǎn)承載單元承載的硅片的邊緣信息的組件，所述組件設(shè)置在所述空心承載盤(pán)的上方，或者，所述組件設(shè)置在所述空心承載盤(pán)的上方和下方。

2.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述空心承載盤(pán)上設(shè)有多個(gè)對(duì)應(yīng)不同尺寸硅片的承載區(qū)，每個(gè)所述承載區(qū)上均設(shè)有相應(yīng)的吸盤(pán)，每個(gè)所述吸盤(pán)所圍的承載區(qū)內(nèi)均設(shè)有多個(gè)吸附孔。

3.如權(quán)利要求1或2所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述空心承載盤(pán)在所述吸盤(pán)所圍的承載區(qū)內(nèi)和/或所述吸盤(pán)所圍的承載區(qū)外側(cè)的區(qū)域上設(shè)有若干用于支撐硅片的凸起結(jié)構(gòu)。

4.如權(quán)利要求3所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述若干凸起結(jié)構(gòu)呈同心環(huán)分布。

5.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)光機(jī)單元包括第一光源、相機(jī)、第一鏡頭、水平運(yùn)動(dòng)軸架以及光機(jī)支架，所述第一光源、相機(jī)、第一鏡頭組裝在所述光機(jī)支架上且位于所述空心承載盤(pán)的上方，所述水平運(yùn)動(dòng)軸架能夠帶動(dòng)所述光機(jī)支架相對(duì)所述空心承載盤(pán)水平移動(dòng)，用于調(diào)整所述第一鏡頭與所述旋轉(zhuǎn)承載單元承載的硅片的邊緣的相對(duì)位置。

6.如權(quán)利要求5所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)光機(jī)單元還包括設(shè)置在所述空心承載盤(pán)上且位于所述吸盤(pán)外側(cè)的反光鏡，所述第一光源發(fā)出的光能經(jīng)所述第一鏡頭入射到所述反光鏡上，所述反光鏡反射的光經(jīng)所述第一鏡頭入射到所述相機(jī)上。

7.如權(quán)利要求5所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)光機(jī)單元還包括第二光源及第二鏡頭，所述第二光源及第二鏡頭組裝在所述光機(jī)支架上且位于所述空心承載盤(pán)的下方，所述第二光源發(fā)出的光經(jīng)所述第二鏡頭入射到所述空心承載盤(pán)，并透射到所述第一鏡頭進(jìn)而入射到所述相機(jī)上。

8.如權(quán)利要求7所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述空心承載盤(pán)上且位于所述吸盤(pán)外側(cè)的區(qū)域可透光，所述透光區(qū)域鍍有可反射所述第一光源和透射所述第二光源的膜層。

9.如權(quán)利要求1所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述水平位置補(bǔ)償單元、垂向運(yùn)動(dòng)單元、交接承載單元自下而上依次連接設(shè)置，所述垂向運(yùn)動(dòng)單元包括升降軸、剎車(chē)定子和剎車(chē)動(dòng)子；所述剎車(chē)定子固定安裝；所述升降軸的一端為固定端，固定在所述水平位置補(bǔ)償單元上，所述升降軸的另一端為升降端，相對(duì)所述固定端升降以帶動(dòng)所述交接承載單元升降；所述剎車(chē)動(dòng)子設(shè)置在所述升降軸的升降端上。