[發(fā)明專利]一種可降低電子逃逸率的離子源

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810908015.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-10
• 公開（公告）號(hào): CN109065429B
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王鳴;陳剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都極星等離子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J27/14
• 分類號(hào): H01J27/14
• 代理公司: 成都樂(lè)易聯(lián)創(chuàng)專利代理有限公司 51269
• 代理人: 高煒麗

1.一種可降低電子逃逸率的離子源，包括陽(yáng)極環(huán)、內(nèi)陰極和外陰極，陽(yáng)極環(huán)位于內(nèi)陰極與外陰極之間，其特征在于：所述陽(yáng)極環(huán)、內(nèi)陰極和外陰極均為軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)，外陰極的磁軛中部固定有軟磁柱，軟磁柱一端穿過(guò)陽(yáng)極環(huán)的內(nèi)孔中心并與內(nèi)陰極的中部連接，所述內(nèi)陰極的磁極靴上任意一處的縱截面形狀均與對(duì)應(yīng)處外陰極的磁極靴縱截面形狀互為鏡像對(duì)稱，且內(nèi)陰極的磁極靴與外陰極的磁極靴之間形成環(huán)形的陰極縫隙，所述陽(yáng)極環(huán)正對(duì)于陰極縫隙的下方，所述外陰極的磁軛上設(shè)置有兩塊永磁體，兩塊永磁體關(guān)于軟磁柱對(duì)稱，且兩塊永磁體分別位于陽(yáng)極環(huán)上相對(duì)兩側(cè)的正下方；

所述內(nèi)陰極的磁極靴與外陰極的磁極靴相互靠近的端部均呈圓弧型，且圓弧的半徑不大于2mm；

所述內(nèi)陰極與外陰極的磁極靴端部均加工有上反角和下反角，上反角的角度與下反角的角度一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可降低電子逃逸率的離子源，其特征在于：所述內(nèi)陰極與外陰極均采用軟磁材料制作，且內(nèi)陰極的磁極靴以及外陰極的磁極靴均采用雜質(zhì)含量低于0.02％的純鐵材料制作。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可降低電子逃逸率的離子源，其特征在于：所述內(nèi)陰極的磁極靴以及外陰極的磁極靴上均鍍有一層保護(hù)層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可降低電子逃逸率的離子源，其特征在于：所述保護(hù)層為鉻層。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可降低電子逃逸率的離子源，其特征在于：所述上反角的角度范圍為30～45°。