[發明專利]用于MEMS諧振傳感器陣列的裝置和方法有效
| 申請號： | 201810903531.X | 申請日： | 2018-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN109387291B | 公開（公告）日： | 2023-07-04 |
| 發明（設計）人： | 田友軍 | 申請（專利權）人： | 霍尼韋爾國際公司 |
| 主分類號： | G01J5/10 | 分類號： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 畢錚;陳嵐 |
| 地址： | 美國新*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 mems 諧振 傳感器 陣列 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于傳感器系統(330)的裝置，包括：
信號發生器系統(312)，被配置為生成周期性線性調頻；
檢測器系統(316)；
微機電系統MEMS諧振傳感器陣列(300)，其包括耦合到信號發生器系統和檢測器系統的至少兩個像素；
耦合到檢測器系統的處理系統(318)；
快門系統，該快門系統耦合到處理系統并且當被激活時被配置為將MEMS諧振傳感器陣列從入射的輻射隔離；
其中所述裝置被配置為針對每個像素確定所確定的諧振頻率；并且
其中所述裝置被配置為在快門系統被激活時針對每個像素確定參考諧振頻率；并且
其中處理系統被配置為利用對應的參考諧振頻率和對應的所確定的諧振頻率來確定每個像素上的入射輻射的至少一個功率電平。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述裝置還包括耦合到信號發生器系統(312)的計數器系統(318C)，其中計數器系統被配置為標識對應于從像素檢測到的最大測量振幅的計數。
3.根據權利要求1所述的裝置，還包括：
峰值檢測器(318A)，被配置為確定MEMS諧振傳感器陣列(300)中的每個像素的諧振頻率；以及
圖像檢測器(318B)，被配置為基于所確定的諧振頻率和對應的參考諧振頻率之間的差來確定入射在每個像素上的紅外輻射功率。
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