[發(fā)明專利]一種磷烷尾氣處理裝置及處理方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810902450.8
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN108970379A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱顏;王陸平;施軍民;王仕華;陶偉
• 申請（專利權(quán)）人: 全椒南大光電材料有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/46
• 代理公司: 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34124
• 代理人: 王亞洲

1.一種磷烷尾氣處理裝置，其特征在于，包括沿尾氣流動方向依次連接的通風(fēng)櫥、多級淋洗系統(tǒng)、離心風(fēng)機(jī)及煙囪，所述多級淋洗系統(tǒng)包括至少兩個依次連接的淋洗塔，每一淋洗塔內(nèi)自上而下地噴淋吸收劑，沿尾氣流動方向，各淋洗塔內(nèi)的吸收劑的濃度依次降低；所述離心風(fēng)機(jī)抽取尾氣，使通風(fēng)櫥內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)；所述煙囪上設(shè)置有安全監(jiān)測裝置；還包括儲液罐，各淋洗塔分別通過循環(huán)水泵與該儲液罐連接，各循環(huán)水泵分別與安全監(jiān)測裝置連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磷烷尾氣處理裝置，其特征在于，所述淋洗塔的數(shù)量為三個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磷烷尾氣處理裝置，其特征在于，所述煙囪中部設(shè)置有取樣口，所述安全監(jiān)測裝置設(shè)置于該取樣口處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磷烷尾氣處理裝置，其特征在于，所述風(fēng)機(jī)為變頻離心風(fēng)機(jī)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磷烷尾氣處理裝置，其特征在于，所述所述淋洗塔內(nèi)填充有鮑爾環(huán)。

6.一種磷烷尾氣處理方法，其使用如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的一種磷烷尾氣處理裝置，其特征在于，離心風(fēng)機(jī)抽取待處理尾氣，使通風(fēng)櫥處于負(fù)壓狀態(tài)，待處理尾氣由通風(fēng)櫥進(jìn)入淋洗系統(tǒng)，并在淋洗塔內(nèi)經(jīng)吸收劑梯度淋洗吸收達(dá)到安全濃度后從煙囪排出，其中安全監(jiān)測裝置用以監(jiān)測排出氣體中磷烷的濃度，并控制循環(huán)水泵向各淋洗塔頂部供應(yīng)吸收液。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種磷烷尾氣處理方法，其特征在于，所述淋洗塔的數(shù)量為三個，且沿尾氣流動方向，三個淋洗塔內(nèi)氧化性吸收劑的濃度分別為2-9wt％、1-5wt％、0.5-2wt％。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種磷烷尾氣處理方法，其特征在于，所述氧化性吸收劑選自過氧化氫、高錳酸鉀或次氯酸鈉。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種磷烷尾氣處理方法，其特征在于，所述氧化性吸收劑為次氯酸鈉。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種磷烷尾氣處理方法，其特征在于，所述通風(fēng)櫥的風(fēng)壓為500-1000pa。