[發明專利]靶材移動裝置及使用方法

在審

• 申請號: 201810897165.1
• 申請日: 2018-08-08
• 公開（公告）號: CN110819946A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;丁向前
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

1.一種靶材移動裝置，其特征在于，包括：

主導軌支架，所述主導軌支架內具有凹部；

主工作臺，設置于所述主導軌支架上，適于沿所述主導軌支架作前后移動；

主絲杠，所述主絲杠位于所述主導軌支架的凹部內，且與所述主工作臺連接；

旋轉電機，位于所述主工作臺上；

主移動電機，設置于所述主導軌支架上，適于驅動所述主絲杠運動。

2.如權利要求1所述的靶材移動裝置，其特征在于，所述旋轉電機還包括電機軸，所述電機軸的前端從所述主工作臺的邊沿伸出。

3.如權利要求2所述的靶材移動裝置，其特征在于，還包括：夾持件，位于所述旋轉電機的電機軸前端且連接所述電機軸。

4.如權利要求3所述的靶材移動裝置，其特征在于，所述夾持件包括底板及位于底板上的夾板，所述夾板的數量至少為兩個。

5.如權利要求4所述的靶材移動裝置，其特征在于，所述底板上還包括：

副導軌支架，所述副導軌支架內具有凹槽；

副工作臺，設置于所述副導軌支架上，適于沿所述副導軌支架作前后移動，所述夾板固定設置于所述副工作臺上；

副絲杠，所述副絲杠位于所述副導軌支架的凹槽內，且與所述副工作臺連接；

副移動電機，設置于所述副導軌支架上，適于驅動所述副絲杠運動。

6.如權利要求5所述的靶材移動裝置，其特征在于，所述副導軌支架的數量至少為一個，所述副絲杠的數量與所述副導軌支架數量匹配。

7.如權利要求6所述的靶材移動裝置，其特征在于，還包括：副套筒，所述副套筒套設于所述副絲杠上。

8.如權利要求1所述的靶材移動裝置，其特征在于，所述主導軌支架的數量至少為一個，所述主絲杠的數量與所述主導軌支架數量匹配。

9.如權利要求8所述的靶材移動裝置，其特征在于，還包括：主套筒，所述主套筒套設于所述主絲杠上。

10.一種如權利要求1至9所述的靶材移動裝置的使用方法，其特征在于，包括：

開啟所述主移動電機，所述主移動電機驅動所述主絲杠運動，所述主絲杠帶動所述主工作臺及所述旋轉電機移動；

在將靶材移動至預定位置后，關閉所述主移動電機。

11.如權利要求10所述的靶材移動裝置的使用方法，其特征在于，還包括：

關閉所述主移動電機后，開啟所述旋轉電機，所述旋轉電機帶動所述夾持件及靶材旋轉，以改變靶材的受錘擊面；

在達到預設時間后，所述旋轉電機關閉，所述主移動電機開啟，將靶材移動至預定位置后，關閉所述主移動電機。