[發明專利]一種石墨烯基雙晶態微執行器的制備方法在審
| 申請號： | 201810893331.0 | 申請日： | 2018-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN108900111A | 公開（公告）日： | 2018-11-27 |
| 發明（設計）人： | 朱授恩 | 申請（專利權）人： | 同天（福建）石墨烯科技有限公司 |
| 主分類號： | H02N2/00 | 分類號： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621 | 代理人： | 李素紅 |
| 地址： | 350007 福建省福州市倉山區城門鎮南江濱西大道198*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微執行器 石墨烯 環氧 石墨烯基 微加熱器 懸臂梁 光刻 金層 雙晶 制備 浸泡 氯化鐵溶液 熱蒸發沉積 光刻技術 合成石墨 去離子水 制備工藝 傳統的 兼容性 蝕刻劑 微加工 支撐體 襯底 緩沖 刻蝕 鎳層 懸臂 薄膜 去除 能耗 清洗 芯片 響應 制造 生產 | ||
1.一種石墨烯基雙晶態微執行器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
a)在Ni/SiO2/Si襯底上合成厘米級石墨烯薄膜；
b)在石墨烯上通過熱蒸發沉積20-100nm金層，確定四個電極；
c)采用常規光刻技術，用O2等離子體進行離子刻蝕(RIE)，在Ni層上刻蝕出石墨烯蛇紋狀微加熱器；
d)采用環氧光刻在金層與石墨烯蛇紋狀微加熱器上形成懸臂梁；
e)采用環氧光刻在懸臂梁上形成支撐體；
f)使用緩沖氧化蝕刻劑(BOE)浸泡處理去除SiO2/Si層，得到環氧/石墨烯/金/鎳層；
g)將除去SiO2/Si層后的環氧/石墨烯/金/鎳層轉移到FeCl3溶液中浸泡5分鐘，除去鎳層，得到石墨烯-有機薄膜結構的懸臂芯片；
h)將得到的懸臂芯片用去離子化(DI)水清洗；
i)將清洗后的懸臂芯片金層朝上放置于玻璃基片上進行測量。
2.如權利要求1所述的一種石墨烯基雙晶態微執行器的制造方法，其特征在于：步驟a)石墨烯薄膜的平均層數為2-12層。
3.如權利要求1所述的一種石墨烯基雙晶態微執行器的制備方法，其特征在于：步驟a)中Ni層與SiO2/Si層的厚度均為300nm。
4.如權利要求1所述的一種石墨烯基雙晶態微執行器的制備方法，其特征在于：步驟d)中懸臂梁的長、寬、高分別為180μm、200μm、3.4μm。
5.如權利要求1所述的一種石墨烯基雙晶態微執行器的制備方法，其特征在于：步驟e)中支撐體的厚度為35-95μm。
6.如權利要求1所述的一種石墨烯基雙晶態微執行器的制備方法，其特征在于：步驟g)中FeCl3溶液的濃度為1.0mol/L。
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