[發(fā)明專利]用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810890770.6
• 申請日: 2018-08-07
• 公開（公告）號: CN108956574A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂昌貴;祁正青;朱成軍;鐘嫄;崔一平
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G01N21/01
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)，其特征在于：該結(jié)構(gòu)從下而上依次包括絕緣襯底(1)、金屬薄膜(2)、光學(xué)透明介質(zhì)薄膜(3)和納米金屬圓盤陣列(4)，該納米金屬圓盤陣列(4)按設(shè)計要求排列。

2.一種如權(quán)利要求1所述的用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

S1.在絕緣襯底(1)上蒸鍍金屬薄膜(2)；

S2.在金屬薄膜(2)上蒸鍍光學(xué)透明介質(zhì)膜(3)；

S3.在光學(xué)透明介質(zhì)膜(3)上通過旋涂的方法涂覆一層有機薄膜；

S4.使用制備好的模板在有機薄膜上進(jìn)行壓印，?？坛鲋鶎ΨQ圓盤陣列孔結(jié)構(gòu)；

S5.在柱對稱圓盤陣列孔結(jié)構(gòu)上蒸鍍金屬；

S6.蒸鍍完成后采用有機溶液清洗去除有機薄膜，保留下柱對稱納米金屬圓盤陣列(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述絕緣襯底(1)為玻璃襯底或石英襯底。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述金屬膜(2)為金膜或銀膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述金屬薄膜(2)的厚度大于100納米。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述光學(xué)透明介質(zhì)膜(3)為SiO₂膜或MgF₂膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于雙光子熒光增強的雙波長金屬Fano共振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述柱對稱金屬圓盤陣列(4)中圓盤的直徑為納米量級。