[發明專利]加工裝置

在審

• 申請號: 201810884015.7
• 申請日: 2018-08-06
• 公開（公告）號: CN109382766A
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 掛札將樹
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B55/06
• 分類號: B24B55/06;B24B41/00;B24B37/34;B24B37/10;B24B7/07
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供加工裝置，能夠適當地判定加工屑向包圍加工室的壁的附著程度。該加工裝置包含：卡盤工作臺，其對板狀的被加工物進行保持；加工單元，其包含主軸，在該主軸的前端部安裝有加工工具，該加工工具對卡盤工作臺所保持的被加工物進行磨削或研磨；加工室，其由壁包圍而成，對卡盤工作臺和主軸的前端部進行收納；以及污濁狀況顯示單元，其示出因被加工物的磨削或研磨而產生的加工屑向壁的附著程度，污濁狀況顯示單元具有：透過窗，其由使可見光透過的部件制成，構成壁的一部分；以及顏色樣本顯示部，其按照與透過窗重疊或與透過窗相鄰的方式設置，示出附著于透過窗的加工屑的量與透過窗的顏色之間的關系。

技術領域

本發明涉及用于對板狀的被加工物進行加工的加工裝置。

背景技術

為了使組裝到電子設備等的器件芯片小型化、輕量化，增加了將被分割成器件芯片之前的晶片或封裝基板等加工得較薄的機會。在該加工中例如使用如下的加工裝置：該加工裝置具有供磨削磨具或研磨墊等加工工具安裝的主軸(旋轉軸)。通過使借助主軸而旋轉的加工工具與晶片或封裝基板等被加工物接觸，能夠使該被加工物變薄。

另外，當利用上述那樣的加工裝置對被加工物進行加工時，會產生大量的加工屑(粉塵)而向周圍飛散。因此，提出了如下方法：在加工裝置上設置將安裝有加工工具的主軸的前端部覆蓋的罩，在由該罩圍成的加工室內對被加工物進行加工(例如，參照專利文獻1)。根據該方法，所產生的加工屑不會飛散到罩的外部。

專利文獻1：日本特開2004-1118號公報

當如上述那樣在加工裝置上設置將主軸的前端部覆蓋的罩時，加工屑會附著于罩的內壁而逐漸堆積。當堆積于罩的內壁的加工屑因某些原因落下而進入加工工具與被加工物之間的間隙時，會對被加工物造成較大的損傷。因此，需要在適當的時機對罩的內壁進行清掃。

但是，由于該清掃的時機例如是根據操作人員的經驗等而確定的，所以有時清掃的頻率為所需以上而使加工裝置的運轉率降低。另一方面，當清掃的時機過晚時，加工屑從罩的內壁落下而進入到加工工具與被加工物之間的間隙，對被加工物造成較大的損傷。

發明內容

本發明是鑒于該問題點而完成的，其目的在于，提供加工裝置，其能夠對加工屑向將收納有主軸的前端部的加工室包圍的壁的附著程度適當地進行判定。

根據本發明的一個方式，提供加工裝置，其具有：卡盤工作臺，其對板狀的被加工物進行保持；加工單元，其包含主軸，在該主軸的前端部安裝有加工工具，該加工工具對該卡盤工作臺所保持的該被加工物進行磨削或研磨；加工室，其由壁包圍而成，對該卡盤工作臺和該主軸的該前端部進行收納；以及污濁狀況顯示單元，其示出因該被加工物的磨削或研磨而產生的加工屑向該壁的附著程度，該污濁狀況顯示單元具有：透過窗，其由使可見光透過的部件制成，構成該壁的一部分；以及顏色樣本顯示部，其按照與該透過窗重疊或與該透過窗相鄰的方式設置，示出附著于該透過窗的該加工屑的量與該透過窗的顏色之間的關系。

本發明的一個方式的加工裝置具有污濁狀況顯示單元，該污濁狀況顯示單元具有：透過窗，其由使可見光透過的部件制成；以及顏色樣本顯示部，其示出附著于透過窗的加工屑的量與透過窗的顏色之間的關系，因此能夠通過目視對透過窗和顏色樣本顯示部進行比較，從而適當地判定加工屑向包圍加工室的壁的附著程度。

附圖說明

圖1是示意性地示出研磨裝置的構成例的立體圖。

圖2是示意性地示出污濁狀況顯示單元的構成例的俯視圖。

標號說明