[發(fā)明專利]滲硅工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810879575.3
• 申請日: 2018-08-03
• 公開（公告）號: CN109176832B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉軍;孫偉華
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳勒邁科技有限公司
• 主分類號: B28B1/54
• 分類號: B28B1/54;B28B11/00;B28B17/00
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44288
• 代理人: 齊則琳;張雷

本發(fā)明公開了一種滲硅工裝，用于裝載碳制工件并進(jìn)行液相滲硅生產(chǎn)，所述滲硅工裝包括容器主體、支撐件和容器蓋體，所述容器主體上設(shè)有凹腔；所述支撐件放置于所述凹腔內(nèi)以用于支撐所述碳制工件，且所述支撐件上設(shè)有用于容置硅粉的容置結(jié)構(gòu)；所述容器蓋體蓋合于所述容器主體上以用于密封所述凹腔。本發(fā)明實(shí)施例通過在容器主體上開設(shè)凹腔，且在凹腔內(nèi)放置具有用于容置硅粉的容置結(jié)構(gòu)的支撐件，使得將碳制工件放于支撐件上，再蓋上容器蓋體，即可進(jìn)行滲硅工藝，支撐件與碳制工件緊抵，實(shí)現(xiàn)良好的滲硅效果，支撐件的支撐功能與容置功能合二為一，且反應(yīng)后無殘余硅渣粘結(jié)，方便清理，同時能滲硅均勻減少偏重。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種工裝，尤其涉及一種滲硅工裝。

背景技術(shù)

CC-SiC是以碳纖維為增強(qiáng)體，以C和SiC為基體的復(fù)合材料。相對于C/C復(fù)合材料而言，最主要區(qū)別就在于采用抗氧化性能優(yōu)異、硬度高的SiC取代了C/C復(fù)合材料中部分C基體，從而在保證C/C復(fù)合材料力學(xué)性能基礎(chǔ)上顯著改變了抗氧化性能。因此C/C-SiC材料除具有C/C復(fù)合材料的高比強(qiáng)度、高比模量、優(yōu)異的高溫力學(xué)性能、熱穩(wěn)定性、高熱導(dǎo)率及低熱膨脹系數(shù)等一系列優(yōu)良性能外，還具有基體致密化度高、耐熱震、抗燒蝕、對苛刻環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)和低磨損性能。

CC-SiC的制備工藝主要有三種：化學(xué)氣相滲透(CVI)工藝、前驅(qū)體浸漬熱解(PIP)工藝和熔融滲硅(LSI)工藝。相對于CVI和PIP工藝，LSI具有工藝簡單，能顯著縮短致密周期，降低生產(chǎn)成本，殘余孔隙率低等優(yōu)點(diǎn)。但在實(shí)際液相滲硅時常出現(xiàn)：滲硅不均勻，導(dǎo)致碳陶盤偏重過大；同時反應(yīng)后有殘余硅渣粘結(jié)導(dǎo)致難以清理，影響盤面外觀；用于液相滲硅的工裝易于開裂，無法重復(fù)多次使用，提高了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種滲硅工裝，旨在解決現(xiàn)有滲硅工裝反應(yīng)后有殘余硅渣粘結(jié)導(dǎo)致難以清理及滲硅不均勻的問題。

本發(fā)明的目的之一采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種滲硅工裝，用于裝載碳制工件并進(jìn)行液相滲硅生產(chǎn)，所述滲硅工裝包括容器主體、支撐件和容器蓋體，所述容器主體上設(shè)有凹腔；所述支撐件放置于所述凹腔內(nèi)以用于支撐所述碳制工件，且所述支撐件上設(shè)有用于容置硅粉的容置結(jié)構(gòu)；所述容器蓋體蓋合于所述容器主體上以用于密封所述凹腔。

進(jìn)一步地，所述支撐件為環(huán)狀墊體。

進(jìn)一步地，所述容置結(jié)構(gòu)為設(shè)于所述環(huán)狀墊體上的蜂窩孔。

進(jìn)一步地，所述蜂窩孔沿所述環(huán)狀墊體的軸向貫穿設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述工裝還包括石墨紙，所述凹腔的內(nèi)壁包括腔底壁和環(huán)繞設(shè)置于所述腔底壁外邊緣的腔側(cè)壁，所述石墨紙包括附著于所述腔底壁上的底紙部，所述支撐件放置于所述底紙部上。

進(jìn)一步地，所述石墨紙還包括附著于所述腔側(cè)壁上的側(cè)紙部。

進(jìn)一步地，所述側(cè)紙部頂端到所述底紙部之間的距離小于所述凹腔側(cè)壁頂端到所述底紙部之間的距離。

進(jìn)一步地，所述側(cè)紙部頂端到所述底紙部之間的距離大于所述支撐件頂端到所述底紙部之間的距離。

進(jìn)一步地，所述支撐件由碳粉和酚醛樹脂混合而成。

進(jìn)一步地，所述容器主體和所述容器蓋體都為石墨坩堝。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明實(shí)施例通過在容器主體上開設(shè)凹腔，且在凹腔內(nèi)放置具有用于容置硅粉的容置結(jié)構(gòu)的支撐件，使得將碳制工件放于支撐件上，再蓋上容器蓋體，即可進(jìn)行滲硅工藝，支撐件與碳制工件緊抵，實(shí)現(xiàn)良好的滲硅效果，支撐件的支撐功能與容置功能合二為一，且反應(yīng)后無殘余硅渣粘結(jié)，方便清理，同時能滲硅均勻減少偏重。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的滲硅工裝的剖面示意圖；