[發明專利]一種脈沖式電子槍試驗裝置及方法

有效

• 申請號: 201810879340.4
• 申請日: 2018-08-03
• 公開（公告）號: CN109143312B
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 郭盤林
• 申請（專利權）人: 上海夯業真空設備科技有限公司
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 深圳泛航知識產權代理事務所(普通合伙) 44867
• 代理人: 鄧愛軍

本發明公開了一種脈沖式電子槍試驗裝置及方法，包括：電子槍，電子槍位于高電位；測量真空室，測量真空室與電子槍之間通過加速管電壓隔離；法拉第筒，法拉第筒位于地電位，法拉第筒設置在測量真空室內，法拉第筒的前部安裝有狹縫；電機，電機驅動法拉第筒沿束流的徑向移動。本發明對束流剖面進行狹縫掃描測量，不僅大大降低了束流的平均功率和輻射劑量，而且能在一次測試中同時獲得束流強度和束流截面大小的數據。

技術領域

本發明涉及脈沖式電子槍的技術領域，尤其涉及一種脈沖式電子槍試驗裝置。

背景技術

電子槍在設計和制造完成之后先要在試驗裝置上進行測試，確保其性能符合設計要求才使用。對束流品質的評價，一般從束流強度、束流截面和橫向散角三個方面進行考察，有些時候人們更關注束流強度和束流束徑。常用法拉第筒測量束流強度，用電子打靶感光或產生的痕跡來測量束流直徑。工業輻照用高壓型加速器的束流為直流模式，流強達數十毫安。電子槍引出的束流能量也達到數十千電子伏，以30mA/30kV為例，束流功率高達900W。在進行電子槍測試時，電子轟擊法拉弟筒產生的熱量和X射線劑量都非常大，因此試驗裝置需要冷卻和輻射屏蔽措施，結構復雜，造價昂貴，使用有安全隱患。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種脈沖式電子槍試驗裝置。

為了實現上述目的，本發明采取的技術方案為：

一種脈沖式電子槍試驗裝置，其中，包括：電子槍，所述電子槍位于高電位；測量真空室，所述測量真空室與所述電子槍之間通過加速管電壓隔離；法拉第筒，所述法拉第筒位于地電位，所述法拉第筒設置在所述測量真空室內，所述法拉第筒的前部安裝有狹縫；電機，所述電機驅動所述法拉第筒沿束流的徑向移動。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述狹縫的長度大于束流的有效直徑。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述法拉第筒與地之間接有測量電阻。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，還包括：示波器，所述示波器用于測量進入所述狹縫的束流的大小。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，還包括：光測高溫計，所述光測高溫計用于測量所述電子槍的陰極燈絲的溫度。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述電子槍的引出電極呈圓筒形，所述引出電極安裝在所述加速管的電極上。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述電子槍為高壓型電子加速器用的二極電子槍，所述電子槍的陰極燈絲為W-Re絲，所述電子槍的陰極燈絲繞制成無感盤香狀。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述測量真空室相對于所述電子槍的另一端設有觀察窗，用于觀察所述法拉第筒和所述電子槍的陰極燈絲。

上述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述測量真空室的下部設有泵管。

一種脈沖式電子槍試驗裝置的工作方法，其中，包括上述的任意一項所述的脈沖式電子槍試驗裝置，其中，所述電子槍發射的束流經所述狹縫被所述法拉第筒接收，所述法拉第筒接收的束流強度為束流截面上對一個維度的積分，同時所述電機沿徑向驅動所述法拉第筒，逐點測量并記錄束流大小和所述法拉第筒的位置，從而得到束流的徑向位移分布。

本發明由于采用了上述技術，使之與現有技術相比具有的積極效果是：

(1)本發明對束流剖面進行狹縫掃描測量，不僅大大降低了束流的平均功率和輻射劑量，而且能在一次測試中同時獲得束流強度和束流截面大小的數據。

附圖說明

圖1是本發明的脈沖式電子槍試驗裝置的工作原理圖。

圖2是本發明的脈沖式電子槍試驗裝置的結構圖。

圖3是本發明的脈沖式電子槍試驗裝置的高斯分布曲線圖。