[發明專利]提高微機電系統-槽孔板對位精準度的方法在審
| 申請號: | 201810877586.8 | 申請日: | 2018-08-03 |
| 公開(公告)號: | CN108882533A | 公開(公告)日: | 2018-11-23 |
| 發明(設計)人: | 馬洪偉;高奇峰 | 申請(專利權)人: | 江蘇普諾威電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H05K3/00 | 分類號: | H05K3/00 |
| 代理公司: | 昆山中際國創知識產權代理有限公司 32311 | 代理人: | 張文婷 |
| 地址: | 215300 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 工作片 微機電系統 槽孔板 對位精準度 成型線 加工 產品制作成本 企業競爭力 大小一致 客戶要求 曝光對位 企業收益 生產效率 定位孔 對位槽 精準度 板件 良率 超標 外部 | ||
1.一種提高微機電系統-槽孔板對位精準度的方法,所述微機電系統-槽孔板包括工作片(1),所述工作片上設有工作片成型線(2),該工作片的四角位于工作片成型線外鉆有定位孔(3),該工作片位于工作片成型線內加工有器件槽(4),其特征在于:加工所述工作片成型線內的器件槽(4)時,在所述工作片位于工作片成型線外部的四角同時加工四個大小一致的對位槽(5)。
2.根據權利要求1所述的提高微機電系統-槽孔板對位精準度的方法,其特征在于:在所述對位槽(5)的四邊外再分別用同一支銑刀加工出兩個小孔(6),八個小孔到所述對位槽槽邊的距離相同。
3.根據權利要求2所述的提高微機電系統-槽孔板對位精準度的方法,其特征在于:八個小孔到所述對位槽槽邊的距離均為0.04mm。
4.根據權利要求1所述的提高微機電系統-槽孔板對位精準度的方法,其特征在于:所述對位槽為方形槽。
5.根據權利要求1所述的提高微機電系統-槽孔板對位精準度的方法,其特征在于:其中一個對位槽到所述工作片成型線的距離與其他三個對位槽不同。
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