[發明專利]一種曝光光罩包裝裝置及其鎖緊結構在審
| 申請號： | 201810875953.0 | 申請日： | 2018-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN109143776A | 公開（公告）日： | 2019-01-04 |
| 發明（設計）人： | 陳計林 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F1/66 | 分類號： | G03F1/66 |
| 代理公司： | 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 孫威;潘中毅 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 夾持板 傳動件 曝光光 套筒 包裝裝置 鎖緊結構 鎖緊 閉合 鎖緊裝置 作業效率 聯動 外壁 裝設 損傷 承載 伸出 外部 | ||
1.一種用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，包括：
套筒，所述套筒同一側的外壁上設有至少一個用以承載曝光光罩的第一夾持板；
裝設在所述套筒中的第一傳動件；
連接在所述第一傳動件上的至少一個第二傳動件，所述第二傳動件上裝設伸出至所述套筒的外部且與所述第一夾持板位置相對應的第二夾持板，其中，
通過所述第一傳動件改變所述第二傳動件在所述套筒中的相對位置，使聯動改變所述第二夾持板與所述第一夾持板之間的相對距離，以將曝光光罩鎖緊在所述第一夾持板和所述第二夾持板之間。
2.如權利要求1所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述第一傳動件包括：緊固在所述套筒端側的軸承以及可旋轉的裝設在所述軸承上的螺紋軸。
3.如權利要求2所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述第二傳動件包括：裝設在所述螺紋軸上的螺紋爪，所述螺紋爪在所述螺紋軸的帶動下沿所述軸承的中心軸方向往復直線移動。
4.如權利要求1所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述套筒的內壁上設有用以對所述第二傳動件的聯動方向進行限位的限位槽。
5.如權利要求3所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述套筒的內壁上設有限位槽；
所述螺紋爪的相對兩側設有限位在所述限位槽中的限位件，使所述螺紋爪由所述限位槽進行移動限位。
6.如權利要求1所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述第二夾持板上連接有一彈性件，使保持所述第二傳動件伸出至所述套筒外部所述第二夾持板的位置密封。
7.如權利要求6所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述彈性件為彈性密封橡膠。
8.如權利要求1所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述套筒由結構相同的兩個半殼體連接而成。
9.如權利要求1所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構，其特征在于，所述套筒同一側的外壁上設有至少一個用以供所述第二傳動件的所述第二夾持板伸出至所述套筒外部的開孔。
10.一種曝光光罩包裝裝置，其特征在于，所述曝光光罩包裝裝置包括如權利要求1-9任一項所述的用于曝光光罩包裝裝置的鎖緊結構。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備
