[發(fā)明專利]高濃度過氧化氫水溶液之處理方法

在審

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• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN110655201A
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李明穎;魯建國;蔡耀郎
• 申請（專利權(quán)）人: 帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司
• 主分類號: C02F3/34
• 分類號: C02F3/34;C02F101/10
• 代理公司: 11274 北京中博世達專利商標代理有限公司
• 代理人: 王晶

本發(fā)明公開了一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，基于過氧化氫酶對過氧化氫的高催化特性，配合預(yù)先于一定容量之半批式反應(yīng)器內(nèi)置入過氧化氫酶，然后添加濃度0.5％至36％之過氧化氫水溶液而形成系統(tǒng)反應(yīng)溶液，配合控制過氧化氫水溶液的添加流量及循環(huán)冷卻水的溫度及流量，進而在處理的過程中，有效將該系統(tǒng)反應(yīng)溶液的反應(yīng)溫度控制在45℃以下，藉以維持過氧化氫酶的活性(催化性)，以安全有效處理高濃度的過氧化氫水溶液。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種過氧化氫水溶液之處理方法；特別是指一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法。

背景技術(shù)

目前一般在電子業(yè)的半導(dǎo)體制程中，過氧化氫(H2O2)為一種常用的化學(xué)品。因此在半導(dǎo)體制程中所產(chǎn)生的廢水，占有一定比例是高濃度的過氧化氫水溶液，部份過氧化氫水溶液濃度更高達10％以上。由于高濃度過氧化氫水溶液具有較強的反應(yīng)性及腐蝕性，必須有效降低過氧化氫水溶液濃度，以利于后續(xù)儲存及其他附屬物質(zhì)回收再利用。

上述化學(xué)式中，其反應(yīng)熱可達到98KJ/mole，由于會放熱衍生高溫及產(chǎn)生氧氣的特性，因此目前業(yè)界無法有效且快速安全處理大量高濃度之過氧化氫水溶液。

現(xiàn)有含過氧化氫排水之處理裝置公開一種即使為含有％級的較高濃度的過氧化氫的排水，亦可連續(xù)運轉(zhuǎn)且進行安定且有效率的處理之構(gòu)成簡易且較為小型的過氧化氫水處理裝置。過氧化氫水處理裝置，使被處理水與過氧化氫分解觸媒接觸，將被處理水中的過氧化氫分解成氧與水而得處理水的過氧化氫水處理裝置，其特征為具有：過氧化氫分解反應(yīng)器，具有被處理水的導(dǎo)入口與處理水的排出口，在內(nèi)部被填充有過氧化氫分解觸媒；及氣液分離器，被導(dǎo)入過氧化氫分解反應(yīng)器的流出水，氣液分離器由在上部連接排氣配管、在下部連接排水配管的筒狀容器所構(gòu)成，在筒狀容器的側(cè)部被導(dǎo)入前述流出水。

案所采用的過氧化氫分解觸媒，將鉑族金屬擔(dān)載在載體而成。鉑族金屬為平均粒子徑1～50nm之鉑族金屬的奈米膠體粒子。載體為離子交換樹脂。又排水的過氧化氫濃度則為0.1～5重量％。惟該案之處理方式仍只能局限用于濃度較低的過氧化氫水溶液，對于高濃度的過氧化氫水溶液還是一樣束手無策。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法。

為達到上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中高濃度過氧化氫水溶液為單位體積水中包含有0.5％～36％過氧化氫之水溶液，而該方法所使用之硬設(shè)備包括一半批式(semi-batch)反應(yīng)器，一連設(shè)于半批式反應(yīng)器之冷卻統(tǒng)，一連設(shè)于半批式反應(yīng)器之過氧化氫酶儲槽以及一連設(shè)于半批式反應(yīng)器之過氧化氫水溶液儲槽；高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，包括下列步驟：A.于一定容量之半批式反應(yīng)器內(nèi)預(yù)先置入過氧化氫酶；B.于半批式反應(yīng)器內(nèi)持續(xù)加入高濃度之過氧化氫水溶液，而形成系統(tǒng)反應(yīng)溶液；C.系統(tǒng)反應(yīng)溶液中的高濃度過氧化氫水溶液與過氧化氫酶進行化學(xué)反應(yīng)；以及D.利用冷卻系統(tǒng)針對高濃度過氧化氫水溶液與過氧化氫酶進行化學(xué)反應(yīng)之系統(tǒng)反應(yīng)溶液以循環(huán)冷卻水進行溫度管理。

本發(fā)明之上述及其他目的與優(yōu)點，不難從下述所選用實施例之詳細說明與附圖中，獲得深入了解。

當(dāng)然，本發(fā)明在某些另件上，或另件之安排上容許有所不同，但所選用之實施例，則于本說明書中，予以詳細說明，并于附圖中展示其構(gòu)造。

附圖說明

圖1是本發(fā)明高濃度過氧化氫水溶液之處理方法所使用之硬件設(shè)備示意圖。

圖2是本發(fā)明半批式反應(yīng)器之剖視之示意圖。

圖3是本發(fā)明處理過氧化氫水溶液步驟之流程圖。

具體實施方式