[發明專利]傳感器設備和用于具有至少一個化學或電化學探測裝置的傳感器設備的制造方法

在審

• 申請號: 201810869872.X
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN109384188A
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: A·丹倫貝格;M·施瓦茨;S·齊默爾曼;S·T·耶格
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B1/00
• 分類號: B81B1/00;G01L9/00;G01N27/30;B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種傳感器設備，所述傳感器設備具有：

襯底(10)；和

在所述襯底(10)上和/或在所述襯底(10)中構造的至少一個化學或電化學探測裝置(12)，其具有結構化到所述襯底(10)中的探測開口(14)并且如此構造，使得在所述探測開口(14)中至少一種待探測的材料的存在引起由所述探測裝置(12)輸出的或在所述探測裝置(12)上量取的第一傳感器信號的變化；其特征在于，

所述探測開口(12)包括穿過所述襯底(10)的第一側(10a)結構化的入口(16)并且包括第一空腔(18)，所述入口(16)通到所述第一空腔中。

2.根據權利要求1所述的傳感器設備，其中，所述傳感器設備還包括在所述襯底(10)上和/或在所述襯底(10)中構造的至少一個另外的感測裝置(26)，其中，與所述感測裝置(26)相鄰地在所述襯底(10)中構造有第二空腔(28)，穿過所述襯底(10)的第一側(10a)結構化的連接開口(30)通到所述第二空腔中。

3.根據權利要求2所述的傳感器設備，其中，所述感測裝置(26)具有位于所述襯底(10)的背離所述第一側(10a)的第二側(10b)上的敏感面(34)并且如此構造，使得在所述敏感面(34)上的至少一個物理參量的變化引起由所述感測裝置(26)輸出的或者在所述感測裝置(26)上量取的第二傳感器信號的變化。

4.根據權利要求3所述的傳感器設備，其中，所述另外的感測裝置(26)是壓力和/或聲音探測裝置(26)，其具有膜片構件(36)，所述膜片構件如此覆蓋構造在所述襯底(10)中的第三空腔(38)，使得所述膜片構件(36)借助作為所述至少一個物理參量的變化的在所述膜片構件的背離所述第三空腔(38)的敏感面(34)上的壓力變化是可凹入或可凸出的。

5.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器設備，其中，所述襯底(10)固定在電路板(40)上和/或部分地以封裝材料(44)模制包封。

6.一種用于具有至少一個化學或電化學探測裝置(12)的傳感器設備的制造方法，所述制造方法具有以下步驟：

借助各向異性的第一蝕刻工藝(S1)穿過襯底(10)的第一側(10a)蝕刻入口(16)；

形成第一空腔(18)，所述入口(16)通到所述第一空腔中，其方式是，借助各向同性的第二蝕刻工藝(S2)在所述入口(16)的背離所述襯底(10)的第一側(10a)的端部上蝕刻所述第一襯底；以及

如此在所述襯底(10)上和/或在所述襯底(10)中構造所述化學或電化學探測裝置(12)，使得在包括所述入口(16)和所述第一空腔(18)的探測開口(14)中至少一種待探測的材料的存在引起由所述探測裝置(12)輸出的或在所述探測裝置(12)上量取的第一傳感器信號的變化(S3)。

7.根據權利要求6所述的制造方法，其中，在所述襯底(10)上和/或所述襯底(10)中構造至少一個另外的感測裝置(26)，其中，借助所述各向異性的第一蝕刻工藝(S1)還如此穿過所述襯底(10)的第一側(10a)結構化附加的連接開口(30)，使得借助所述各向同性的第二蝕刻工藝(S2)通過在所述連接開口(30)的背離所述襯底(10)的第一側(10a)的端部上蝕刻所述襯底(10)來與所述感測裝置(28)相鄰地在所述襯底(10)中形成第二空腔(28)，所述連接開口(30)通到所述第二空腔中。

8.根據權利要求7所述的制造方法，其中，如此構造具有位于所述襯底(10)的背離所述第一側(10a)的第二側(10b)上的敏感面(34)的所述另外的感測裝置(26)，使得在所述敏感面(34)上的至少一個物理參量的變化引起由所述感測裝置(26)輸出的或者在所述感測裝置(26)上量取的第二傳感器信號的變化(S0)。