[發(fā)明專利]一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810869773.1
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN109061061B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚驍洪;羅俊;邢宗鋒;楊遷;張鋒;邱盛;李曉紅;鄧永芳;吳兆希;林震;朱朝軒
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第二十四研究所
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務(wù)所 50215
• 代理人: 王海軍

1.一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：包括基座、活塞桿和滑蓋，所述基座為長方體結(jié)構(gòu)，基座的中心位置自上而下開有連通的第一活塞桿孔和儲氣孔，第一活塞桿孔的直徑大于儲氣孔的直徑；所述基座上還開有兩個進氣孔，且兩個進氣孔均與第一活塞桿孔連通；所述滑蓋設(shè)置在基座的底面，用于密封儲氣孔的孔口；所述活塞桿活動設(shè)置在第一活塞桿孔內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：還包括活塞控制件，所述活塞控制件包括固定座、卡銷和手柄；所述固定座設(shè)置在基座的上表面，固定座中心自上而下設(shè)置有卡銷孔和第二活塞桿孔，所述卡銷孔的直徑要小于第二活塞桿孔的直徑，所述第一活塞桿孔和第二活塞桿孔大小相同、位置對應(yīng)，兩者共同構(gòu)成活塞桿孔；所述卡銷設(shè)置在卡銷孔內(nèi)，卡銷的兩端分別連接活塞桿和手柄，所述活塞桿的直徑大于卡銷孔的直徑，且當手柄上提最高時，卡銷高出固定座的長度大于進氣孔到第一活塞桿孔底端的長度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所示的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述活塞桿底部設(shè)置有材料為四氟乙烯的孔塞。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述基座底面設(shè)置有方形的滑蓋凹槽，滑蓋凹槽的一端靠近儲氣孔且與儲氣孔垂直，另一端在基座一側(cè)的邊緣，滑蓋凹槽的兩側(cè)有滑動軌道。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述滑動軌道由滑蓋凹槽兩側(cè)局部凹陷而形成，所述滑蓋的兩側(cè)局部凸出形成卡條，卡條放置在滑動軌道內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述滑蓋由條形滑動部分和楔形密封部分組成；所述卡條設(shè)置在條形滑動部分的兩側(cè)；所述基座底面有凹陷區(qū)，凹陷區(qū)位于儲氣孔孔口周圍且與滑蓋凹槽連通，凹陷區(qū)的凹陷深度與楔形密封部分的厚度相同，當滑蓋朝儲氣孔滑動后，楔形密封部分緊密貼合于凹陷區(qū)表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述滑蓋凹槽內(nèi)設(shè)置有半球形凹槽，所述條形滑動部分貼近滑蓋凹槽的表面設(shè)置有半球形的頂珠。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述基座的左、右兩側(cè)邊緣處開有兩個相互對稱的U形缺口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述進氣孔對稱設(shè)置在基座的前后兩側(cè)，且位于第一活塞桿孔靠下端位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小電路內(nèi)部氣氛檢測校準器，其特征在于：所述進氣孔的孔口處設(shè)置有進氣連接件，所述進氣連接件包括螺母及氣道，所述螺母的一端與進氣孔孔口周圍的帶螺紋圓環(huán)連接，螺母的另一端與氣道連接。