[發明專利]覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法

在審

• 申請號: 201810864646.2
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN108950495A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 王朝勇;李艷華;郝世明;劉志清;黃曉亞;潘慧;路一帆;陳庚陽;馬培芳
• 申請（專利權）人: 河南城建學院
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35
• 代理公司: 西安銘澤知識產權代理事務所(普通合伙) 61223
• 代理人: 李振瑞

1.一種覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，基材處理

清洗、干燥基材，獲得潔凈基材；

S2，銀膜涂覆

通過離子濺射儀在所述潔凈基材表面沉積銀膜，得到銀涂覆基材；離子濺射儀的濺射條件為：氬氣作為填充氣體，真空度為0.1MPa，電流25mA，沉積時間為15～20min；

S3，鍍TiN/TiSiN/SiN膜

銀涂覆基材在乙醇溶液中浸泡，取出后60℃烘干，得到干燥銀涂覆基材，并置于磁控濺射儀內；

采用Ti靶，以磁控濺射的方式在銀涂覆基材表面鍍TiN膜，濺射氣氛為氮氣和氬氣的混合氣體，得到TiN材料；

采用Ti靶和Si靶，以共濺射的方式在TiN材料表面鍍TiSiN膜，濺射氣氛為氮氣和氬氣的混合氣體，得到TiN/TiSiN材料；

最后采用Si靶，以磁控濺射的方式在銀涂覆基材表面鍍SiN膜，濺射氣氛為氮氣和氬氣的混合氣體，得到覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料。

2.根據權利要求1所述的覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法，其特征在于，S1中清洗、干燥基材的具體方法如下：將基材浸泡于2mol/L的氫氧化鈉溶液中，超聲清洗10min，取出后再用清水沖洗，60℃烘干并冷卻至室溫，獲得潔凈基材。

3.根據權利要求2所述的覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法，其特征在于，S3中乙醇溶液的體積分數為80％。

4.根據權利要求1所述的覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法，其特征在于，S3中，磁控濺射或者共濺射采用的是MPP電源，磁控濺射或者共濺射時采用的電壓為400V，脈沖頻率為350Hz。

5.根據權利要求1所述的覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法，其特征在于，S3中，鍍TiN膜、TiSiN膜、SiN膜的溫度均為300℃，鍍膜時間均為6min。

6.根據權利要求5所述的覆有TiN/TiSiN/SiN薄膜涂層的太陽能高效吸收復合材料的制備方法，其特征在于，S3中，氮氣和氬氣的混合氣體中，氬氣的流量為40～45sccm，氮氣的流量為20～25sccm。