[發(fā)明專利]一種耐熱感光耐蝕膜及其制備和應(yīng)用在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810861164.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-08-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109054480A | 公開（公告）日： | 2018-12-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金闖 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 太倉斯迪克新材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09D4/06 | 分類號(hào)： | C09D4/06;C09D4/02;C08G73/10;G03F7/027 |
| 代理公司： | 蘇州凱謙巨邦專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32303 | 代理人： | 丁劍 |
| 地址： | 215400 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 感光耐蝕膜 耐熱 生物基 聚酰亞胺樹脂 制備和應(yīng)用 附著力 脆性 截止波長 聚酰亞胺 氯代脂肪 紫外感光 光刻膠 分辨率 固化 制備 抵抗 應(yīng)用 | ||
本發(fā)明涉及一種耐熱感光耐蝕膜及其制備和應(yīng)用，所述耐熱感光耐蝕膜包括生物基聚酰亞胺樹脂，所述生物基聚酰亞胺樹脂中含有生物基、氯代脂肪鏈，顯著改善了生物基聚酰亞胺的溶解性和脆性，通過紫外感光固化獲得的耐熱感光耐蝕膜具有良好的硬度和附著力，能抵抗大多數(shù)酸和堿的腐蝕性，應(yīng)用耐熱感光耐蝕膜制備的光刻膠具有290nm的截止波長和35?40um的分辨率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及膜材料技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種耐熱感光耐蝕膜及其制備和應(yīng)用。
背景技術(shù)
耐熱感光耐蝕材料是一種新型的功能材料，感光耐蝕指通過紫外光照射固化的一類抗蝕材料，通常由感光高分子樹脂、光敏引發(fā)劑、活性稀釋劑等組成，無溶劑，無氣味，不污染環(huán)境，很少有針孔，能耐各種酸性或者堿性腐蝕，可用于絲網(wǎng)圖形蝕刻法和圖形電鍍法制造印制電路圖形，一也可用于化學(xué)蝕刻法制造精密的金屬零件和圖形，在能源光伏，微電子行業(yè)，耐熱感光耐蝕材料有著廣泛的用途。
由二元酸酐和二元胺制備的聚酰亞胺類高分子材料性能優(yōu)異，因其耐熱耐老化和耐溶劑被廣泛用于涂料、復(fù)合材料等，然而聚酰亞胺膜材的缺點(diǎn)也顯而易見，其溶解性差，常與其他高分子材料聯(lián)合使用，限制了其用途。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于現(xiàn)有技術(shù)情況，為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種耐熱感光耐蝕膜及其制備和應(yīng)用,采用如下技術(shù)方案：
一種耐熱感光耐蝕膜，其特征在于，所述耐熱感光耐蝕膜由以下重量份的組分制備而成，以下組分按重量計(jì)算：
優(yōu)選的，所述生物基聚酰亞胺樹脂由以下組分制備而成，以下組分按重量計(jì)算：
優(yōu)選的，所述生物基聚酰亞胺樹脂的制備方法包括以下步驟：
步驟1：將2,2,4,4-四甲基-2-2-雙(4-氨基苯基)戊烷、生物基二聚二胺、無水間甲基苯酚放入連續(xù)攪拌反應(yīng)釜的反應(yīng)倉中，N2保護(hù)，低速攪拌至固體物質(zhì)溶解，呈澄清溶液；
步驟2：改變攪拌速度，高速攪拌狀態(tài)下從加料口加入4,4-(六氯異丙烯)二酞酸酐，調(diào)整溫度至80-100℃，反應(yīng)8-10h；
步驟3：將4-氨基苯甲酸溶于間-二氯代苯和無水間甲基苯酚的混合溶劑中，將所得的混合溶液從加料口加入到步驟2所得的產(chǎn)物中，80-100℃繼續(xù)反應(yīng)12-14h，然后升溫至200℃反應(yīng)12h，降溫至110℃；
步驟4：將甲基丙烯酸縮水甘油酯，三苯基膦，對(duì)苯二酚混合，從加料口加入到到步驟3 所得的產(chǎn)物中，110℃反應(yīng)10h；
步驟5：將步驟4所得的產(chǎn)物放于體積比為4:1的甲醇和去離子水的混合液中沉淀、過濾，而后溶解于N-甲基吡咯烷酮中，如此反復(fù)沉淀溶解3-5次，將最后得到的固體于80℃真空烘箱中干燥24h得到粉末狀產(chǎn)物。
其中，連續(xù)攪拌反應(yīng)釜設(shè)有反應(yīng)倉、加料倉和進(jìn)料口，所述進(jìn)料口可隨時(shí)添加反應(yīng)物，所述加料倉可控制加料的速度。
優(yōu)選的，所述膜的厚度為5-10um，所述膜的光截止波長為290nm，所述膜的T10％為420-450℃。
一種制備上述耐熱感光耐蝕膜的方法，包括以下步驟：
步驟1：準(zhǔn)確稱取各反應(yīng)物和溶劑，放于避光的反應(yīng)釜中，攪拌10-12h，涂布于載體上；
步驟2：以265-295nm波長范圍內(nèi)的光照射步驟1所得的膜，光強(qiáng)為180-220mJ/cm2，使之剛光固化。
一種應(yīng)用上述耐熱感光耐蝕膜的光刻膠，包括未經(jīng)感光固化的耐熱感光耐蝕膜和半導(dǎo)體襯板。
優(yōu)選的，所述光刻膠的分辨率為35-40um。
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