[發明專利]一種長期穩固耐用的疏水涂層及其制備方法、應用

有效

• 申請號: 201810853742.7
• 申請日: 2018-07-30
• 公開（公告）號: CN108977782B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 石振;張雪峰
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/02
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種長期穩固耐用的疏水涂層的制備方法，其特征在于，所述疏水涂層包括稀土金屬過渡層和稀土氧化物涂層，所述稀土金屬過渡層沉積于基底與稀土氧化物涂層之間，所述稀土金屬過渡層的材質為與稀土氧化物涂層相對應的稀土金屬，所述基底為金屬基底或非金屬基底；該方法包括以下步驟：

（1）對基底表面進行活化清洗；將基底置于等離子體裝置腔室內，抽真空至4.0×10^-4 ~6.0×10^-4 Pa之后通入氬氣，打開直流電源，用氬氣等離子體對基底表面進行活化清洗；

（2）采用磁控濺射法，選取所需要的稀土金屬靶材，通入氬氣在活化清洗后的基底表面沉積稀土金屬過渡層；沉積偏壓–20 ~ –100 V，沉積壓強為0.10 ~ 0.50 Pa，沉積溫度為20~ 30℃；

（3）通入氬氣和氧氣的混合氣，在稀土金屬過渡層表面沉積稀土氧化物涂層，即制得長期穩固耐用的疏水涂層；所述氧氣的質量流量百分比為3~60%；所述氬氣的質量流量百分比為40~97%；所述稀土氧化物涂層的沉積參數為：沉積偏壓0 ~ –300 V，沉積壓強為0.13 ~0.66 Pa，沉積溫度為25~35℃；

其中，步驟（3）中稀土氧化物涂層的沉積溫度高于步驟（2）中稀土金屬過渡層的沉積溫度。

2.根據權利要求1所述的長期穩固耐用的疏水涂層的制備方法，其特征在于，所述稀土氧化物涂層的材質為氧化鈰，氧化鐠，氧化釹，氧化釤，氧化銪，氧化釓，氧化鋱，氧化鏑，氧化鈥，氧化鉺，氧化銩，氧化鐿，氧化镥，氧化鈧和氧化釔中的一種。

3.根據權利要求2所述的長期穩固耐用的疏水涂層的制備方法，其特征在于，所述非金屬基底選自硅片基底，玻璃基底和聚對苯二甲酸乙二醇酯基底中的一種；所述金屬基底選自不銹鋼基底，鋁基底，銅基底和鎂基底中的一種。

4.一種如權利要求1-3任一所述的制備方法制得的長期穩固耐用的疏水涂層。

5.一種如權利要求4所述的長期穩固耐用的疏水涂層在自清潔、防霧、防結冰、防粘附、防生物淤積、強化冷凝傳熱、防腐蝕領域的應用。