[發(fā)明專利]一種高純鉭靶材的車削加工方法

在審

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• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN108672720A
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發(fā)明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;周建軍;羅明浩
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23B1/00
• 分類號: B23B1/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 肖麗

一種高純鉭靶材的車削加工方法，涉及濺射靶材領域，其采用刀片沿高純鉭靶材的直徑方向朝高純鉭靶材的中心進給的加工方式，并對車削速度進行了嚴格的限定。該車削加工方法的操作簡單，對設備要求不高。經(jīng)過發(fā)明人創(chuàng)造性勞動發(fā)現(xiàn)，針對鉭靶材，當車削速度限定在250～300m/min時，加工后的高純鉭靶材表面質(zhì)量較好，能夠較好避免突起、凹坑等表面缺陷以及車削擠壓層的出現(xiàn)。此外，在上述車削速度下，對于刀片的損耗較小，節(jié)約刀片的同時，還節(jié)約了更換刀片的時間，更加利于降低生產(chǎn)成本。

技術領域

本發(fā)明涉及濺射靶材領域，具體而言，涉及一種高純鉭靶材的車削加工方法。

背景技術

濺射靶材主要應用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等；亦可應用于玻璃鍍膜領域；還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。是PVD(物理氣相沉積)工藝不可或缺的消耗材料。

鉭(Ta)，金屬元素，主要存在于鉭鐵礦中，同鈮共生。鉭的硬度適中，富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小，每升高一攝氏度只膨脹百萬分之六點六。除此之外，它的韌性很強，比銅還要優(yōu)異。鉭有非常出色的化學性質(zhì)，其可以在表面生成穩(wěn)定的五氧化二鉭(Ta₂O₅)保護膜，從而具有極高的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、濃硝酸及“王水”都不反應。可用來制造蒸發(fā)器皿等，也可做電子管的電極、整流器、電解電容。醫(yī)療上用來制成薄片或細線，縫補破壞的組織。基于上述性質(zhì)，鉭是一種性質(zhì)有優(yōu)良，應用廣泛的靶材材料。但是，現(xiàn)有用于加工鉭靶材的技術中，會在靶材表面產(chǎn)生車削擠壓層，影響濺射過程的均勻性。而要去除車削擠壓層，達到濺射使用需求，則需要通過后續(xù)40min左右的研磨，耗費大量的人工成本和時間成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種高純鉭靶材的車削加工方法，其操作簡單，對設備要求不高。加工后的靶材表面質(zhì)量較佳，能夠較好地滿足濺射使用的需求；同時，其對于刀片的損耗較小，利于降低生產(chǎn)成本。

本發(fā)明的實施例是這樣實現(xiàn)的：

一種高純鉭靶材的車削加工方法，其包括：

對高純鉭靶材進行車削；車削過程中，刀片沿高純鉭靶材的直徑方向朝高純鉭靶材的中心進給，車削速度為250～300m/min。

本發(fā)明實施例的有益效果是：

本發(fā)明實施例提供了一種高純鉭靶材的車削加工方法，其采用刀片沿高純鉭靶材的直徑方向朝高純鉭靶材的中心進給的加工方式，并對車削速度進行了嚴格的限定。該車削加工方法的操作簡單，對設備要求不高。經(jīng)過發(fā)明人創(chuàng)造性勞動發(fā)現(xiàn)，針對鉭靶材，當車削速度限定在250～300m/min時，加工后的高純鉭靶材表面質(zhì)量較好，能夠較好避免突起、凹坑等表面缺陷以及車削擠壓層的出現(xiàn)。此外，在上述車削速度下，對于刀片的損耗較小，節(jié)約刀片的同時，還節(jié)約了更換刀片的時間，更加利于降低生產(chǎn)成本。

具體實施方式

為使本發(fā)明實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。實施例中未注明具體條件者，按照常規(guī)條件或制造商建議的條件進行。所用試劑或儀器未注明生產(chǎn)廠商者，均為可以通過市售購買獲得的常規(guī)產(chǎn)品。

下面對本發(fā)明實施例的一種高純鉭靶材的車削加工方法進行具體說明。

本發(fā)明實施例提供了一種高純鉭靶材的車削加工方法，其包括：

對高純鉭靶材進行車削；車削過程中，刀片沿高純鉭靶材的直徑方向朝高純鉭靶材的中心進給，車削速度為250～300m/min。