[發(fā)明專利]一種調(diào)節(jié)電子顯微鏡成像參數(shù)的方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810843900.0
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN109087293B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王伯丁;李應(yīng)成
• 申請（專利權(quán)）人: 新華三大數(shù)據(jù)技術(shù)有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06K9/62
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳迪

1.一種調(diào)節(jié)電子顯微鏡成像參數(shù)的方法，其特征在于，應(yīng)用于電子顯微鏡EM，該方法包括：

所述EM獲取執(zhí)行成像前的準(zhǔn)備階段的第一參數(shù)，將所述第一參數(shù)輸入預(yù)先訓(xùn)練得到的所述EM對應(yīng)的第一成像模型，得到第二參數(shù)，所述電子顯微鏡成像參數(shù)包括所述第一參數(shù)和第二參數(shù)；

按照所述準(zhǔn)備階段的第一參數(shù)和得到的第二參數(shù)進(jìn)行成像，得到第一圖像；

提取所述得到的第二參數(shù)中的第三參數(shù)，將所述第三參數(shù)輸入預(yù)先訓(xùn)練得到的所述EM對應(yīng)的第二成像模型，得到第四參數(shù)；

按照所述準(zhǔn)備階段的第一參數(shù)、提取的第三參數(shù)以及得到的第四參數(shù)進(jìn)行成像，得到第二圖像；

基于所述第一圖像以及所述第二圖像，確定所述電子顯微鏡成像參數(shù)，并按照確定的所述電子顯微鏡成像參數(shù)成像；

所述基于所述第一圖像以及所述第二圖像，確定所述電子顯微鏡成像參數(shù)，包括：

獲取所述第一圖像的清晰度和所述第二成像圖片的清晰度；

計(jì)算所述第一圖像的清晰度與所述第二圖像的清晰度的差值；

若所述差值小于或等于預(yù)設(shè)清晰度差閾值，獲取所述清晰度最高的圖像的成像參數(shù)，作為所述EM的成像參數(shù)；

若所述差值大于預(yù)設(shè)清晰度差閾值，提取清晰度最高的圖像，替換所述第一圖像；修改所述第三參數(shù)以調(diào)節(jié)再次成像的成像參數(shù)，執(zhí)行所述將所述第三參數(shù)輸入預(yù)先訓(xùn)練得到的所述EM對應(yīng)的第二成像模型的步驟，直至所述差值小于或等于預(yù)設(shè)清晰度差閾值；

所述EM包括掃描電子顯微鏡SEM，在所述EM獲取執(zhí)行成像前的準(zhǔn)備階段的第一參數(shù)之前，所述方法還包括：

獲取清晰的SEM樣本圖像集，提取所述SEM樣本圖像集中每一SEM樣本圖像的成像參數(shù)，所述成像參數(shù)包括第一參數(shù)以及第二參數(shù)；

依據(jù)所述第一參數(shù)，對提取的各SEM樣本圖像的成像參數(shù)進(jìn)行分類，得到以第一參數(shù)為鍵，以該第一參數(shù)對應(yīng)的第二參數(shù)為值的第一鍵值對集，以及，構(gòu)建以第三參數(shù)為鍵，以該第三參數(shù)對應(yīng)的第四參數(shù)為值的第二鍵值對集；

以所述第一鍵值對集中的鍵作為輸入，以該鍵對應(yīng)的值作為輸出，對預(yù)設(shè)的第一成像初始模型進(jìn)行訓(xùn)練，得到所述SEM對應(yīng)的第一成像模型；以及，以所述第二鍵值對集中的鍵作為輸入，以該鍵對應(yīng)的值作為輸出，對預(yù)設(shè)的第二成像初始模型進(jìn)行訓(xùn)練，得到所述SEM對應(yīng)的第二成像模型。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

顯示所述清晰度最高的圖像和所述清晰度最高的圖像的成像參數(shù)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一參數(shù)包括放大倍數(shù)值和加速電壓值，所述第二參數(shù)包括：電流值、束斑直徑值、工作距離值、聚焦函數(shù)值、像散函數(shù)值；所述第三參數(shù)包括：電流值、束斑直徑值和工作距離值，所述第四參數(shù)包括聚焦函數(shù)值和像散函數(shù)值。